中古 RORZE RR717L1521-3A6-231-2 #9206455 を販売中

RORZE RR717L1521-3A6-231-2は、最大600mm 300mmウェーハの搬送に特化したセミオートウェーハハンドラです。半導体業界のクリーンルームやその他の高純度の空気環境での使用を想定して設計されています。その中核となるRR717L1521-3A6-231-2には、ウェーハの取り扱いと搬送を正確な動き、向き、速度で行う一貫した機械装置と、動作機能の自動電気制御システムがあります。機械ユニットは、2つのリニアリフター、1つの垂直リフター、1つの水平リフター、2つのXYZ軸ステージ、および2つのエンドエフェクタアームで構成されています。このアセンブリは、頑丈で信頼性の高い輸送装置を提供し、ステンレスフレームに包装されています。リニアリフターは、ウェーハを高さ600mmまで転送する責任がありますが、垂直リフターはエンドエフェクターを横断する必要があります。これらは、3つのステッピングモータードライバーによって駆動されます。ロータリーモーターによって駆動されるXYZ軸ステージは、ウェーハの搬送とピッキング/配置の両方において、エンドエフェクターの正確な動きと向きを提供します。個々の機能のためにプログラムされたエンドエフェクタアームにより、最大2つのウェーハを同時にピックアップ/配置できます。RORZE RR717L1521-3A6-231-2の電気機械は、X-Yテーブル、PCベースのコントローラ、およびEMPROMで構成されています。X-Y TableinとPCベースのコントローラを組み合わせることで、オープンソースのプログラミングツールを提供することで、データ転送とウェーハ処理を自動化します。PCベースのコントローラは、資産パフォーマンスに関連するすべての操作、記録データ、およびステータス信号を制御および監視します。それはまた自動誤り訂正および流れ制御を担当します。EMPROMは、モーションプロファイルに関連するパラメータの微調整を支援します。RR717L1521-3A6-231-2のモジュール設計は容易な取付けおよびサービスを可能にします。このモデルは、人や機器を誤用から保護するインターロックと安全ロックアウト装置の両方でサポートされています。CE準拠で、FOUP検出を含み、ESS、 SPC、 GEMなどのインタフェースを介して通信できます。重量400kgのRORZE RR717L1521-3A6-231-2は、半導体生産時の生産性を向上させるために設計された実証済みの信頼性の高いウェハハンドラです。最大600mmの300mmウェーハを、広範囲にわたって自動で安定した精密な自動化を実現します。汎用性の高いシステムは、統合された制御ユニットのおかげで、半導体製造とハイテク産業の両方で多くのアプリケーションに最適なソリューションです。