中古 RORZE RR713L #9383647 を販売中

RORZE RR713L Wafer Handlerは、バルクウェーハとマウントされたウェーハの直径300mmまでのローディングとアンロードを簡素化するように設計されたプレミアムウェーハハンドリングロボットです。このロボットは、半導体製造、大学教育、研究開発、実験プロセスなど、さまざまな用途に適しており、より良い精度と品質管理を可能にします。ロボットは、スロットと爪のシステムを使用して、一度に最大4つのウェーハを拾って配置し、24インチまで転送することができます。これは完全に自動化されており、ウェーハのロードとアンロードのために、制御ユニットにプログラミングする簡単なコマンドだけを必要としています。ロボットは、余分な機械部品なしで、300mmまでの直径の大きなウェーハを取り扱い、配置することができます。ステッピングモータにより2軸の駆動制御が可能で、毎秒0。3〜96mmの可変速度を実現しています。最大重量700gまでのウェーハを選ぶように設計されており、チップや粒子を30 μ mまで検出することができます。また、ワープされたウェーハやフラットされていないウェーハを検出できるダウンフォースディテクタも備えています。RR713Lはロボットの塵、粒子および液体を自由保つために集中された空気システムを備えています。これは、ロボットが動作することが期待されるクリーンルーム環境のために研究開発プロセスのために特に重要です。また、衝撃センサーを搭載した防振機能を備え、急な動きや衝撃に素早く反応し、ウェーハを正確かつ安定した位置に保つことができます。このロボットには、標準的な接続インターフェイス、柔軟なプログラミング形式、および安全性を高めた安心操作のための高度な安全制御機能が付属しています。ロボットはまたRoHS迎合的であり、安全および質のために証明されるセリウムです。これは、研究および実験プロセスのための強力で信頼性が高く、正確なツールです。