中古 RORZE RR701L90-Z20-011 #9253414 を販売中

RORZE RR701L90-Z20-011ウェーハハンドラは、各種基板と基板間のICウェーハの取り扱いと搬送をウェーハボンディングツールで行う精密工具です。独自の高精度デュアルドライブ設計により、基板間でウェーハを正確に移動する際に最適な精度と制御を実現します。さらに、RR701L90-Z20-011にはジョイスティックインターフェイスも組み込まれており、シャトルの速度やその他の処理パラメータを選択するときの俊敏性を提供します。RORZE RR701L90-Z20-011に2つの主要な部分があります；ウェーハステアリングユニット（WSU）と基板モビリティユニット（SMU）。WSUは、モーター、ギアなどの部品を高精度に組み合わせ、滑らかで正確なウェーハの動きを可能にします。SMUは2つのステッピングモータで構成されており、基板に対して正確な位置決めを行う柔軟性を提供します。ウェーハRR701L90-Z20-011最大450mm x 600mm （18インチx 24インチ）まで対応可能です。また、精密なクローズドループ制御用の高精度スライドウェイと、1ステップにつき3ナノメートルの強力な駆動分解能を備えています。スライドウェイは、高精度のボールスクリューとZ軸スケールで構成されており、基板の高さを正確に制御して、ドライブZ軸の最高の再現性を保証します。ウエハハンドラには2つの独立した回転軸があります。AZ軸とB軸。AZ軸は同一平面の基板間でウェーハを転送する際に最高の精度性能を発揮しますが、B軸はシャトルとZ軸の角度を自由に調整することで基板送り方向からウェーハプログラミングの自由度を独立させることができます。RORZE RR701L90-Z20-011には、オートストップオプション、再試行ロジック、過電流保護システムなど、いくつかの自動機能が装備されています。オートストップ機能は、エラーが発生したときにシャトルを停止しますが、再試行ロジックは自動的にエラーを修正し、処理を継続します。過電流の保護システムは機械および基質への損傷を防ぎ、手動介入なしで良質および信頼性を維持します。RR701L90-Z20-011はまた、簡単なプログラミングとモーションコントロールのための統合グラフィックスサポートプログラムを提供しています。このプログラムは、サイクルタイム表示、パラメータ監視、リミットスイッチ監視などの広範なグラフィックとプログラミング機能を提供します。全体として、RORZE RR701L90-Z20-011は非常に汎用性が高く信頼性の高いウェハハンドラであり、あらゆる種類のウェハハンドリングおよびボンディング操作において正確な制御と優れた処理性能を提供します。パワフルな機能と高度なオートメーションを組み合わせることで、すべてのウェーハ処理ニーズに優れた品質と精度を保証します。