中古 RORZE RR700L150-Z20-011 #293603097 を販売中

ID: 293603097
ヴィンテージ: 2004
Robot 2004 vintage.
RORZE RR700L150-Z20-011は、製造環境におけるウェーハのローディング、アンロード、ハンドラーシング用に設計された高性能ウェーハハンドラです。滑らかな運動粒子加速を特徴とし、直径200mmまでのウェーハ加工が可能です。RR700L150-Z20-011は、従来のウエハハンドラよりも小型のフットプリントを備えたコンパクトなデザインです。デュアルアクシスローダーアーム、精密制御ステッピングモーター、エアアクティブ位置決め装置を搭載しています。二軸ローダーアームは、ウェーハのロード、アンロード、操作に使用できます。ロードアームは、ウェーハ転送、ウェーハ間チャック(WTC)アライメント、およびウェーハ間ウェーハ(WT-W)アライメント用にもプログラムできます。RORZE RR700L150-Z20-011は、ステッピングモータを高精度に制御し、ウェーハの取り扱いと動作の両方において高い精度を提供します。エアアクティブな位置決めシステムは、繊細なウェーハの整合性を確保し、機械のシフトや不整合に対する保護を保証する自動クランプユニットを提供しています。RR700L150-Z20-011は非常停止用具、煙の防止資産、振動防止モデルおよび真空圧力解放弁を含む広い安全特徴と、設計されています。これらの機能はすべて、安全で安全なウェーハ処理環境を促進します。また、ウエハハンドラは、さまざまな監視および診断機能を備えています。この装置には自動診断システムが装備されており、ユーザーはユニット内の問題を簡単に特定して解決することができます。マシンはまた、内部ログ内のすべてのメンテナンス操作を記録および保存します。全体として、RORZE RR700L150-Z20-011は、製造環境で使用するために設計された信頼性の高い高性能ウエハハンドラです。ユーザーに使いやすく効率的なウェーハハンドリングプラットフォームを提供し、ウェーハの安全性とツールの完全性を確保するためのさまざまな安全性と診断機能を提供します。
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