中古 RORZE RR700L 120-Z20-011 #9110997 を販売中

RORZE RR700L 120-Z20-011
ID: 9110997
Robot P/N: RA00288.
RORZE RR700L 120-Z20-011は、半導体の加工と製造を容易にするために設計されたウェハハンドラです。シリコンウェーハをターゲット位置に移動して素早く配置するために設計された高精度で信頼性の高い機器です。ウェーハトランスファーモジュール(WTM)、ウェーハ操作装置(WMD)、ロボットアームの3つの主要コンポーネントで構成されています。これは、真空チャック、アクチュエータ、統合コントローラ、および抗分離制御メカニズムで構成されています。WTMには、真空チャックへの大小のウェーハの誤荷重を防ぐインターロックが装備されています。WMDは、ユニットの周りに個々のウェーハを移動します。さまざまな方向を提供し、ウェーハを任意の方向に移動できます。WMDには、トルクモーター、センサー、およびX-Y-Zポジショニングユニットが含まれています。この構成により、ウェーハ移動時のクリアランスの問題を排除し、高速、正確な登録、再現性を提供します。ロボットアームは、RR700L 120-Z20-011の最終コンポーネントです。ロボットアームはサーボアーム、リニアアクチュエータ、コントローラ、エンドエフェクターで構成されています。ロボットアームは、フォロワーモジュールにウェーハをピックアップ、方向付け、配置するように設計されています。ウェーハ処理のすべての段階で精度、再現性、精度を保証します。RORZE RR700L 120-Z20-011ウエハハンドラは、高い機械的および電気的精度を提供します。それに正確で、信頼できる位置のための堅いアルミニウムボディ、強いステンレス鋼シャフトおよび大きいチェーン・スロットのスプロケットがあります。さらに、優れた耐振動性を発揮し、連続運転を可能にします。コントローラは包括的なエラー監視を提供し、オペレータはツールの特定のアプリケーションに合わせて設定をカスタマイズできます。結論として、RR700L 120-Z20-011ウェハハンドラは、さまざまな半導体加工および製造アプリケーションに最適な選択肢です。それは良質の機械および電気正確さ、精密および反復可能性を提供し、あらゆるタイプのウエハを扱うことができます。この資産は耐久性があり、信頼性が高く、操作が簡単であるため、信頼性の高い自動生産の長年にわたる理想的なソリューションです。
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