中古 RORZE RR312S250-121-001 #9396401 を販売中

RORZE RR312S250-121-001
ID: 9396401
Robot.
RORZE RR312S250-121-001 Wafer Handlerは、マイクロエレクトロニクスチップ製造に使用されるシリコンウェハーを含む、壊れやすい半導体材料を輸送および除去するために設計されたロボット機器です。ベース1基、ウエハモータ2基、垂直移動用リフター2基、コンベヤーベルトモータ1基で構成されています。最大重量250kgの200mm正方形または丸型ウェーハに対応するように設計されています。単位の基盤はアルミ合金から組み立てられ、ロボット動きのための例外的な安定性そして広い作業区域を提供します。ベースには、レベリングと安定性のための調整可能な脚、冷却ファン、パワーモジュールも装備されています。その堅牢な構造は、振動と低ノイズ動作を最小限に抑えます。2つのウェーハモータにより、機械内のウェーハの正確な位置決めが可能です。ひずみゲージ力センサーを搭載し、ウェーハスリップ、ジャミング、スティッキングを検出します。モーターは、ウェーハを3D空間で動かすだけでなく、ウェーハを回転させたり傾けたりするために事前にプログラムすることができます。2つのリフターは、ウェーハの垂直移動を支援します。これらは電動であり、位置検出技術とエンコーダフィードバックを組み込んで、ウェーハがモータの上に必要な高さにとどまるようにします。調節可能なカウンターバランスプリングマシンは、リフターを位置に保ち、運転中の衝撃を防ぎます。コンベヤーベルトモータは、ウェハを所望の位置に移動するように設計されています。全閉ループサーボフィードバックツールを使用して、ウェーハのスムーズで信頼性の高い動作を保証します。コンベアモータには、ウェハの可逆移動を容易にするレールアセットも装備されています。RR312S250-121-001ウェーハハンドラーは堅牢で信頼性が高く、ダウンタイムと効率を最小限に抑えます。その洗練された構造と機能の範囲は、優れた精度と精度が必要な洗練されたマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に最適です。
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