中古 RORZE RR304L90-514-001 #9143214 を販売中

RORZE RR304L90-514-001は、複雑な半導体処理タスクを効率化するために設計された先進的なウェーハ処理装置です。このユニットは、ロボット部品ハンドリングシステム、自動化されたウェーハオリエンテーションアーム、XYトランスポートテーブル、およびウェーハのグリップ、搬送、転送、およびロード/アンロードのためのエンドエフェクタで構成されています。この精密機械は、予想されるウェハの向きと寸法からの偏差を最小限に抑えて、希少または複数レベルのキャリアを処理するように特別に設計されています。ロボットパーツハンドリングユニットは、サーボコントロールユニット、モーター付きパーツフィーダ、およびEOAT（エンドオブアームツーリング）を搭載したロボットアームで構成され、ウェーハを部品フィーダから関連する加工ステーションに効率的に取り込み、移動させます。モーター式パーツフィーダには、機械に積み込む部品が含まれており、適切な積み込みのための部品を検査するセンサーと、部品の積み下ろし用のゲートがあります。高度なロボットアームは、ウェーハを加工ステーションに正確かつ正確に配置し、その後の処理ステップのために以前に処理されたウェーハをピックアップするようにプログラムされています。自動化されたウエハオリエンテーションアームは、ウエハーのサイズや形状を損なうことなく、90°方向の正確な単位でウエハを検出および回転させるように設計されています。さらに、ウェーハを設計された処理方向に適合させることで、各処理ステーションの読み込み時間を最適化することができます。XYトランスポートテーブルは、搬送されたウェーハを薄型化、研磨、はんだ付けなどの他の加工ステーションに移動するように設計されています。これは、複数のレアレベルのデバイスに特に必要な精度と制御を提供します。エンドエフェクターはツールの最後の部分であり、移動中にウェーハを握り、それらを処理ステーションに運び、ステーション間で転送し、処理されたウェーハをユニットからロードおよびアンロードする目的に役立ちます。RR304L90-514-001は、複雑な半導体処理の課題に精度の高い精度で対応できる、頑丈で信頼性の高いウェハハンドリング資産です。ロボットアームとエンドエフェクターは、複数のキャリアを安全かつ安全な方法でそれぞれの処理ステーションに正確に輸送することができます。一方、自動化されたオリエンテーションアームとXYトランスポートテーブルは、複数のレベルのデバイスに必要なアライメントと位置決めを提供します。このユニットは、欠陥率を最小限に抑えながら、ウェーハの正確な取り扱いを確保することにより、半導体製品のスループットを向上させることができるように設計されています。