中古 RORZE RA7L018 #9136447 を販売中

RORZE RA7L018
製造業者
RORZE
モデル
RA7L018
ID: 9136447
Robot.
RORZE RA7L018は、マイクロファブクリーンルーム施設におけるシリコンウェーハの効率的なロード、アンロード、および処理を容易にするように設計されたウェーハハンドラおよびプラズマプリクリーナーです。高度な自動化装置は、高度なロボティクスと多源ガス供給システムを組み合わせ、シリコンウェーハの正確で再現性のあるプラズマ洗浄を実現しています。RA7L018はステンレス鋼から長期耐久性を確保するために構築され、最大積載量30kgの強力な3軸ロボットアームを備えています。最大6個のウェーハを同時にサポートでき、直径36インチまでのウェーハを受け入れることができます。RORZE RA7L018には、特定のクリーンルーム設備に最適なレイアウトを提供できるように、幅広い構成が用意されています。精密で再現性のあるプラズマ洗浄を実現するために、RA7L018には複数のガス供給ユニットと高度なプロセス制御モジュールが装備されています。このモジュールはガス圧力、プロセス時間およびRF力の精密な制御を提供し、ユーザーが特定のプロセス条件のためのプラズマのクリーニングパラメータを微調整することを可能にします。RORZE RA7L018は、セキュアで自動化されたリモート操作のための組み込みリモートデバイスインターフェイスも備えています。RA7L018は最大のオペレータの安全性と人間工学のために設計されており、困難なクリーンルーム条件下でもオペレータに快適な環境を提供します。ウェーハの積み下ろしプロセスは自動化されており、オペレータが遠くから安全にユニットを操作できるクローズドループ機に統合することができます。RORZE RA7L018は、堅牢で信頼性の高い自動ウェーハハンドラおよびプラズマプリクリーニングツールで、幅広いアプリケーションに精密で再現性のある結果を提供します。直感的なユーザーインターフェイスと自動化されたシステムにより、作業時間を短縮し、オペレータの安全性を最大限に高めることができます。堅牢な設計、高効率、カスタマイズされた構成オプションにより、RA7L018は世界中のクリーンルーム施設に高度なウエハハンドリングとプラズマプリクリーニング機能を提供します。
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