中古 RORZE RA301-512-002 #9214490 を販売中

RORZE RA301-512-002ウェハハンドラは、ウェハハンドリング用に設計された高性能でプログラマブルなロボットです。この精密機器は、特許取得済みの独自の低圧空気装置を使用して、ウェーハを制御および操作します。256th-AXシリーズ軸は4つの自由度を持ち、最小ピッチ角は10°、最大回転角は+90°です。動作速度範囲は調節可能で、仕様速度は1000 mm/sです。RA301-512-002は、高速で広範囲のウェーハセンタリングシステムを備えており、各ウェーハが処理領域に正確に集中していることを保証します。このユニットは、高精度スケール、ローラー、2つのポジショニングネジ、および360°偏心スピンドルで構成されています。デュアルチャック設計により、ウエハーを回転させることなく加工領域を正確に中央に配置することができます。RORZE RA301-512-002のロボットアームには、滑らかでジャーキーのない動きを可能にする統合された自動調整リニアモーションレールがあります。その4つの関節は>=5Hzの速度で動くことができ、その腕は>=30Hzの速度で回転することができます。アームの動作ストロークは600mmで、再現可能な精度は+/-0。01mmです。RA301-512-002は、ピッチとロール方向に優勢な磁気境界制御機も備えています。RORZE RA301-512-002は、大規模産業用途に優れたサポートと高性能を提供する耐久性のある軽量メタルフレームを誇っています。腕は耐久アルミニウムフレームおよび傷および錆に抵抗する特別な扱われた表面によって保護されます。このウェハハンドラには、制限検出用センサー、異常値を検出したときの自動緊急停止、ハンマーフォースモニターなど、さまざまな安全機能が搭載されています。これにより、ウェーハが安全かつ正確に処理されるようになります。最後に、RA301-512-002は容易な取付けを促進するように設計されています。それは4つの土台ボルトおよび簡単な取付け指示と来ます。このユニットは、直感的なソフトウェアインターフェイスを介して簡単にプログラム可能です。シンプルながらパワフルなプログラミング技術を使用することで、ウェーハ処理プロセスをさまざまなアプリケーションにカスタマイズできます。