中古 RORZE PURR-0324-11 #9251474 を販売中
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RORZE PURR-0324-11ウェハハンドラは、自動化されたウェハハンドリングのための高性能、多軸ロボットです。半導体プロセスやリソグラフィープロセスなど、複数の環境において、正確でアジャイルなウェーハ処理を提供するように設計されています。統合されたエンドエフェクター設計は、さまざまなサイズと形状のウェハに対応するように構成することができます。ハンドラには独自のマイクロプロセッサ制御モータ制御装置が搭載されており、優れた精度と再現性を確保しながら、幅広い速度と加速をサポートします。PURR-0324-11は滑らかで、精密な制御を提供する標準的な高トルクの回転式軸線が装備されています。ロータリーアレイは剛性のある機械式シャーシに搭載されており、最適な安定性と振動低減を実現しています。回転軸を追加することで複雑な立体移動が可能になり、ロボットの動きの精度が向上します。ウェハハンドラには、ウェハトランスファー動作時の速度と精度を向上させるための低慣性、高速リニアアレイが装備されています。それに送り装置シャフトの角の動きの精密な制御を提供するサーボ制御供給システムがあります。リニアアレイはボールリニアベアリングに取り付けられているため、加速度や減速度への影響を最小限に抑える低摩擦を実現します。RORZE PURR-0324-11には衝突検知ユニットが搭載されており、ウェーハとのソフトタッチインタラクションが可能です。また、ハンドラは7種類の精度アライメント機能を備えており、転送操作中にウェーハが適切にアライメントされるようにしています。このハンドラーは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを搭載しており、ユーザーにウェーハ処理用の直感的で効率的な制御マシンを提供します。このツールはバッチまたはシングルウェーハモードで操作でき、転送ごとに単一または複数のウェーハを処理できます。PURR-0324-11は、これまでにない10年間の保証を備えているため、ユーザーはすべてのウエハハンドリング作業に最大限の耐久性と信頼性を提供します。また、さまざまな外部システムとのインタフェース機能を備えているため、既存の本番環境に簡単に統合できます。結論として、RORZE PURR-0324-11ウェーハハンドラは、あらゆる形状とサイズのウェーハ処理に高度で正確で信頼性の高いソリューションを提供します。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ハンドラーは迅速かつ簡単なウェーハ転送操作を可能にします。また、衝突検知機能やアライメント機能などの複数の安全機能を備えており、最高の精度と信頼性を確保しています。
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