中古 RORZE FORS-300 #9132832 を販売中
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販売された
ID: 9132832
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Wafer sorter, 12"
Aligner
Single end effector robot
2012 vintage.
RORZE FORS-300は、主に半導体製造の自動ピックアンドプレイスアプリケーション用に設計された高性能ウエハハンドラです。さまざまなウエハ形状やサイズに対応する機能を幅広く提供しています。FORS-300は、高度なモーションコントロール、視覚検査システム、真空チャック処理機能を備えた完全自動化されたデバイスです。モーションコントローラは、高速サーボドライブとピックアンドプレースオペレーション用の精密モータ制御を備えています。視力検査システムは、ウェーハ表面の欠陥や汚れを移動前に検出することができます。真空チャックハンドラは正確かつ迅速にウェーハを正確な位置に配置して移動します。また、FOUP (Front Opening Unified Pod)からのローディング、FOUPへのアンロード、ウェハサーフェスの検査、種類別のソート、パッキングなど、ウェハハンドリングプロセスを自動化するさまざまな機能を提供します。ソートとパッキングプロセスは、あらかじめ定義された命令をメモリコントローラに格納することで実行できます。RORZE FORS-300は、ウェーハの動きを制御するためのパラメータを手動で設定できるユーザーインターフェイスも提供します。FORS-300は、産業環境における長期的な運用のために設計されたメンテナンスフリーのデバイスです。それは容易な取付けおよび非常に有効な操作を可能にする軽く、密集した構造を特色にします。このデバイスには、オペレータが可動部品と接触するのを防ぐために、埋め込まれた緊急停止や連結されたドアなど、いくつかの安全機能も含まれています。全体として、RORZE FORS-300は、ウェーハ処理タスクを自動化するためのインテリジェントで柔軟なツールです。信頼できる精度とスピードで様々なウエハ形状やサイズに対応できます。その結果、大量のスループットと精度が不可欠な半導体生産ラインに最適なデバイスとなります。
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