中古 RORZE EFEM #9255471 を販売中

RORZE EFEMは、半導体処理のために設計された次世代ウェーハハンドリングプラットフォームです。最先端のコンポーネント、ハイエンドのオートメーション、多彩な制御機能を組み合わせ、優れたユーザーエクスペリエンスを提供します。EFEMシステムには、ローディング/アンローディングステージ、ウェハステージ、トランスファステージが含まれます。ローディング/アンローディングステージには、テーブルの両端に2つのモーターが配置されており、ウェーハをストレージキャリアから効率的かつ正確に輸送できます。また、ウェーハの存在を検出する位置センサーや、パフォーマンスを向上させるためのビジョンシステムも備えています。ウェーハステージは、駆動スピンドルを制御するための回転ソレノイドを備えた精密モータと、ウェーハを保持するチャックで構成されています。高速回転・振動が可能で、一度に最大8個のウエハを収容できます。転送ステージには2つの爪ユニットがあり、1つのステージからもう1つのステージに素早く正確にウェーハを転送することができます。さらに、RORZE EFEMには、洗練された制御機能のセットも含まれています。直感的で使いやすいユーザーインターフェイスを備え、グラフィカルディスプレイはウェーハの位置とステータスに関するリアルタイム情報を提供します。また、PID制御も備えており、ユーザーはウェーハステージと転送ステージの速度、圧力、およびトルクの特定の目標値を設定することができます。このシステムは、最適なパフォーマンスを得るためにさまざまなコマンドとパラメータでプログラムすることができ、最大30の構成を格納することができます。最後に、EFEMは安全性と信頼性を念頭に置いた安全な操作のために設計されています。ドアスイッチ、セーフティロープ、ウェーハ検出センサーなど、複数の安全システムを備えています。また、振動を最小限に抑え、ウェーハの損傷を防ぐように設計されています。RORZE EFEMは、ウェーハ処理において優れた性能を提供し、効率的な半導体処理のための優れた自動化を提供します。最先端のコンポーネントと高度な制御機能を組み合わせ、使いやすく安全な操作で高度なユーザーエクスペリエンスを実現します。