中古 RORZE EFEM #9148543 を販売中

RORZE EFEMは、半導体メーカーのニーズに応えるために設計された最先端のウェハハンドラです。ロボットアームに真空吸引装置を搭載し、ウェーハの正確な取り扱いを実現しています。ウェーハを高精度に配置するために設計された完全自動化システムで、これまで以上に高速かつ高精度な効率的なワークフローを実現します。EFEMユニットは、ロボットアーム、ロボットコントローラ、ビジョンカメラユニット、真空吸引ヘッドの4つの主要コンポーネントで構成されています。ロボットアームには、ウェハローディングとアンロードのためのフォースセンサーが内蔵されています。また、1分間に最大180サイクル（CPM）の速度で最大6インチウェーハをピックアンドプレースすることもできます。ロボットコントローラは、柔軟で正確なウェーハ配置とデータ収集と監視を可能にするいくつかの高度なプログラムとオプションを備えた洗練されたマシンです。ビジョンカメラユニットは、プロセス中に効果的にウェーハを検出し、監視するために高精細カメラを使用しています。真空吸引ヘッドは、ウェーハを損傷することなく安全かつ正確に拾うように設計されています。RORZE EFEMは、ウェーハを迅速かつ正確に処理できるだけでなく、プロセスの効率をさらに向上させるいくつかの機能も備えています。ウェーハ表面のぼやけた画像を検出できるブローパス検出ツールと、正確な結果を得るためのビジョンアライメントアセットを内蔵しています。さらに、ずれたパーツを検出して自動補正を行う機能も備えています。EFEMは、業界で最も厳しい製造要件をサポートするように設計されています。それは一貫した、高性能の結果を保障するために迎合的で、テストされるセリウムです。さらに、振動を最小限に抑えるショックアブソーバを内蔵し、ウェーハ配置プロセスの精度と精度を最大化しています。全体として、RORZE EFEMは高度な自動ウェハハンドラであり、今日の半導体業界の要求に応えるために精度とスピードで実行できる能力を備えています。その洗練されたコンポーネントと自動化されたソリューションにより、期待を超えることができ、効率的で正確なウェーハ処理に最適です。