中古 RORZE ACE 300 #9250463 を販売中

RORZE ACE 300は、半導体および関連産業における高性能200mmウェハハンドリングおよび処理用に特別に設計されたウェハハンドラです。最先端の2軸サーボモータ駆動装置を搭載し、騒音や振動を最小限に抑え、200mmウェーハ操作時の精度に優れています。2軸駆動システムは、線形Y軸と高速回転X軸で構成され、それぞれ独立して動作します。ACE 300は信頼性が高く、最大+/-0。8ミクロンの高度な精度を備えています。直径150mmから300mmまでのウェーハに対応でき、最大回転速度は毎秒300度です。ウェーハは安全に取り付けられ、反対側にサポートされているため、動作中のローラーとピッチのディストラクタを最小限に抑えます。また、ハンドラーにはセーフティシャッターユニットが装備されており、ウェーハが機械に放出されるまで移動しないようにしています。これにより、ウェーハは正確かつ最大限の安全性で処理されます。また、ウェーハプリアライメントには高度なマルチゾーン真空コントローラを使用しています。さらに、ウェーハのプリアライメント治具を内蔵しており、ウェーハの手動積み降ろしを容易にし、積み込みにかかる時間と労力を最小限に抑えます。フィクスチャは、さまざまなタイプのウェーハに合わせて簡単に調整および最適化できます。RORZE ACE 300は非常に直感的でユーザーフレンドリーで、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えたグラフィカルタッチスクリーンディスプレイが含まれています。これにより、オペレータはユーザー定義のパラメータをプログラムし、プロセスの各ステップを監視することが非常に便利になります。200mmウェーハを非常に効率的かつ正確に処理するために使用できます。