中古 RORZE 68RR8151-002-101 #9188460 を販売中

ID: 9188460
Wafer transfer station (12) Axes of motion (4) Transfer stations Robot Module: RORZE RR701L1211-3A3-111-1 Dual-arm No hands installed Robot controller: CURR-1480-0 Linear axis: RORZE RT107-1201-002 IKO Model: TSL220-1200A/S20E558 Included: KEYENCE BL-741c Safety light curtain TAKEX SS20 wide sensor RORZE RD-023MS Step drivers RORZE RS-114A Sensor mates RORZE RC-233 Generate masters RORZE CURT-0661-2 RORZE RE120-002-001 NEMIC LAMBDA EWS600P Power supply Power: 200VAC, 1Phase, 50/60Hz, 20A.
RORZE 68RR8151-002-101ウェハンドラは、半導体デバイスの製造に使用するために設計された高度なロボットハンドラです。このデバイスには、統合されたコントローラと2つの精密ロボットアーム、およびウェーハローディング機構、およびウェーハの位置決めプロセスの状態を監視するための光学センサーが含まれています。ロボットアームは、ウェーハを独立して正確に転送できるように設計されており、最小限の操作力で非常に正確な転送を行うことができます。また、360度の動作範囲があるため、ウェーハハンドリングトレイのすべての領域に到達できます。統合されたコントローラは、手動と自動化された操作の両方を可能にする社内開発ソフトウェアで動作し、さまざまな事前プログラムされた操作シナリオを繰り返すようにプログラムする機能を備えています。グラフィカルユーザーインターフェイス、外部信号入力、同期用のパルス出力も備えています。また、ロボットアームの回転速度と加速度を正確に制御するためのアナログ信号入力もサポートしています。ウェーハの位置決めには、ウェーハローディング機構と光学センサーを備え、ウェーハの位置決めプロセスの精度を高めます。ウエハの積み込み位置を鮮明に表示し、正しい動作を保証するモニターを装備しています。また、内蔵コントローラにより、必要に応じて手動でウェーハの配置速度を調整することができます。ロボットアームとウェーハの間の力は、転送プロセスの精度と信頼性を向上させる力制限デバイスによって調整されます。ロボットアームには、エアシリンダー(より小さなウェーハでより効果的に動作するため)と統合された真空カップシステム(より大きなウェーハをより正確に転送するため)も備えています。68RR8151-002-101ウェハハンドラは非常に信頼性が高く効率的であり、半導体の生産に非常に効果的なツールです。RORZE 68RR8151-002-101は、ユーザーフレンドリーなインターフェース、精密ロボットアーム、統合コントローラを備えた最先端のウェーハハンドリングソリューションです。
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