中古 RORZE 1VRR8140 #9195319 を販売中

RORZE 1VRR8140は、半導体製造プロセス向けに設計されたシングルレーンの自己完結型ウェハハンドラです。RORZEによって製造され、正確で高速制御されたウェーハ処理能力を提供します。この製品は、重力および真空輸送システム用のウェーハの取り扱いと転送において高効率で信頼性の高いさまざまな機能を提供します。1VRR8140ウェーハハンドラには、2軸ガントリー、1本のウェーハトランスファーアーム、およびモーター付きカセット-カセット間のトランスファーメカニズムが含まれています。200mm、 150mm、 125mmのウェーハに対応し、双方向または単方向のロボットモーションオプションを提供します。ガントリードライブメカニズムは、高速加速能力と最大速度20m/sのリニアモータに基づいています。ウェハトランスファーアームは、任意のウェハサイズに対応するように変更することができます。ウェーハ把握用の真空源を搭載しています。RORZE 1VRR8140ウェーハハンドラは、柔軟な表面実装技術と社内モーションコントロールによって設計されており、完全にプログラム可能なモーション機能を提供します。カセットウエハを最大7°の角度方向まで正確に配置し、0。003mmの精度±実現します。また、ウェハハンドラは4軸回転までの精密スピンドルサイズを備えており、複数のウェハオリエンテーションが可能です。また、両端ウェーハ伝達機構を備えており、2つのカセットステージまたはカセットとプレートステージの間でウェーハを転送することができます。ウエハハンドラの性能1VRR8140、インテリジェント制御システムによってさらに強化されています。このユニットは、モーションおよび調整パラメータに関するクローズドループのフィードバックループと、オンラインモニタリングおよびセルフチューニング機能を提供します。また、イーサネット、DH+、ピアツーピア通信などの複数の通信プロトコルもサポートしています。さらに、ウェハハンドラはさまざまなビジョンシステムと互換性があり、高解像度の画像キャプチャと、仕様外のコンポーネントを識別して回避する機能を提供します。洗練された制御機に加えて、RORZE 1VRR8140ウェーハハンドラには、さまざまな安全機能が装備されています。これらの機能には、移動中にウェーハが損傷するのを防ぐインターロックツールと、ハンドリング領域への侵入を検出する安全センサーが含まれます。さらに、ウェーハハンドラは、ウェーハエリア内の任意の異物の存在を検出することができ、ウェーハが汚染されないようにするのに役立ちます。全体として、1VRR8140ウェハハンドラは、正確で効率的なウェハハンドリングを必要とするあらゆる生産環境に最適です。その堅牢な設計、洗練された制御資産、および幅広い安全機能により、信頼性と信頼性の高い選択肢となります。