中古 RENA WTS Distribution #9267707 を販売中

RENA WTS Distributionは半導体産業の大量生産のために設計されたウェハハンドラです。この半自動化装置は、ウェーハトラッキングシステム（WTS）とウェーハディストリビューションユニット（WDS）の2つの主要コンポーネントで構成されています。WTSは、ウェーハの動きを追跡し、ウェーハの位置とステータスをリアルタイムで視覚的に表示する責任があります。WDSは、キャリア、処理および計測機器、試験システム、ロードロック、およびその他の周辺部位間のウェーハの実際の移動を自動化するために使用されます。WTSとWDSは、直感的で使いやすいRENAソフトウェアによって制御されています。WTSディストリビューションには、ウェーハをキャリアまたはカセットにバッチ積み込むための別のロボット化された選別機も含まれています。このツールは、8インチまたは12インチのウェーハを含む最大24キャリアをサポートするように設計されています。アーキテクチャは、厳密に分散化、分散化、または集中化され、ファクトリーオートメーションシステムと組み合わせることができます。RENA WTS Distributionは、高度なスキャナと安全ゾーンの両方を使用して、スループットと使用率の向上、ウェハトラッキング精度の向上、フォルトハンドリングの改善、バッファ空間の使用の減少、安全性の向上を提供するように設計されています。WTS Distributionは、ソフトウェアアーキテクチャを通じて完全な生産管理が可能です。このアーキテクチャを通じて、資産のエラーを表示し、薄膜計測ツールのような機器とのインタフェース、材料処理プロセスの自動化、時間管理の確立、リモートメンテナンスを可能にすることができます。さらに、このソフトウェアは、半導体とデジタルシステム間の計測データを更新、追跡、同期することができます。ユーザーはまた、手動操作の複雑さを減らすために、プロセスチャンバーの開閉などのさまざまなコマンドを実行するためにモデルをプログラムすることができます。このウエハハンドラは、最高の信頼性と精度を目指して設計されています。最高の製品品質を確保するために、高度なスキャナ、レーザー範囲、安全ゾーンを使用してウェーハを安全かつ清潔に保ちます。また、データロギングとIQ/OQモジュールを統合しており、安全性、パフォーマンス、精度を保証します。さらに、RENA WTS Distributionは、機器の精度と信頼性を確保するために2つのレベルの冗長性を利用しています。WTS Distributionは最大限の柔軟性と拡張性を備えているため、あらゆる生産要件に合わせてカスタマイズすることができます。このアーキテクチャは、ファクトリーオートメーションシステム、品質管理システム、歩留まり管理ソフトウェア、エンタープライズシステムなど、他の主要なソフトウェアソリューションとの統合を可能にします。RENA WTS Distributionは、包括的な機能と柔軟性を通じて、効率の向上、製品品質の向上、ウェーハトラッキング精度の向上を企業に提供します。