中古 RENA WTS Distribution #9190348 を販売中

RENA WTS Distributionは、薄くて壊れやすいウェハを高精度かつ再現性で転送するように設計された高精度ウェハハンドラです。多機能ロボットアーム、スタンドアロン搬送機器、ウェハプリアライナーなど、さまざまな機能を提供します。ロボットアームは、高度な3軸システムを使用して、3次元空間の負荷ポイントに到達します。スタンドアロン搬送ユニットは、正確さを損なうことなく、ウェーハ処理の最大限の安全性と速度を確保するように特別に設計されています。統合されたウェーハプリアライナーは、処理前に各ウェーハを個別にチェック、調整、および整列できます。WTS Distributionは、最大直径300mmまでのウェーハに対応でき、高容量生産環境において、精度と再現性を備えたウェーハを最大1200mm/sまで転送することができます。ロボットアームにはベースクリップが調整可能で、ウェーハをきれいに拾って動かすために必要なアクチュエータの圧力を簡単に調整できます。統合ビジョンマシンは、ウェーハの位置を検出し、欠陥を1ステップで検出することができ、全体的な生産効率を向上させます。RENA WTS Distributionは、ハンドリング機能に加えて、高度なウエハハンドリングのための高度なプロセス制御機能も提供しています。直感的なユーザーインターフェイスにより、プログラミングが簡単になり、プログラムメモリ、保存されるレシピの量、多言語サポート、レシピの読み込み、ユーザーレベルのパスワードなど、さまざまな機能があります。また、PID制御アルゴリズムを使用して事前にプログラムされた指示に正確に従う超精密モーションコントローラも備えています。WTSディストリビューションは、シリコン、セラミック、サファイアなど、さまざまなウェハ材料に対応できます。このアセットは、さまざまなクリーンルーム環境で動作するように設計されており、回転可能なウェハカセットとさまざまな高さの迅速な調整が可能です。モーションアラーム、トータルカウント検出、空気圧検出などの監視機能を備え、安全で信頼性の高い処理プロセスを提供します。その包括的な設計は、ダウンタイムの削減、オペレータのエラーの最小化、ウェーハ処理の精度の最大化に役立ちます。