中古 RECIF SWE6M #190998 を販売中

RECIF SWE6M
製造業者
RECIF
モデル
SWE6M
ID: 190998
ウェーハサイズ: 6"
H-Square manual single wafer elevator, 6".
RECIF SWE6Mは、ウェーハソートとハンドリングを効率的に行うために設計されたウェーハハンドラです。最大200mm/sの速度でウェハマッピング、ソート、処理を実行します。200mmから125mmまでの様々なサイズのウェーハの取り外しが可能です。精度の高い3軸ステージを備え、解像度は0。5um、再現性は0。3um。シザーリフトとXYZステージを組み合わせることで、ウェハハンドリング作業の柔軟性と精度が向上します。SWE6Mは6軸ロボットアームを搭載しており、高速材料搬送から精密な微粒子処理まで、さまざまな作業に最適です。アームは完全にプログラム可能で、ウェーハへの損傷を防ぐための安全ガードが含まれています。また、高温ステージ(最大140°C)にも耐性があり、クリーンで効率的なウェーハ処理を実現します。ロボットは速度と精度のために設計されているだけでなく、さまざまな種類のプロセスを示すことができるLEDライトと直感的で使いやすいインターフェースを備えています。このユーザーフレンドリーなインターフェースにより、ロボットの操作とメンテナンスを簡単にカスタマイズできます。また、モジュラー設計を備えており、他の既存のシステムやモジュールとのシームレスな統合を可能にします。RECIF SWE6Mには、ウエハハンドリングに最適なさまざまな追加機能があります。これらには、ウェーハバッチのロードとアンロードを最適化する自動ロード機構が含まれます。処理されるのを待っている間ウェーハを貯えるための検索システム;ウエハの特性を確認できるビジョンシステムです。さらに、トレーサビリティや統計の拡張などの高度な機能も提供し、より良い意思決定を行うことができます。SWE6Mは、最適なウエハソートとハンドリング操作を容易にするように設計されています。高速3軸ステージと6軸ロボットアームにより、これまでにない精度と柔軟性を実現。そのユーザーフレンドリーなインターフェイスとモジュラー設計は、分類と処理プロセスをより簡単かつ効率的にするために探しているあらゆる施設にとって理想的な選択肢です。
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