中古 RECIF SRT300T69 #293595587 を販売中

RECIF SRT300T69
ID: 293595587
Wafer sorter.
RECIF SRT300T69は、300mmウェーハ用に設計されたウェーハハンドラです。SRT300T69は、高いスループットと安全なハンドリング、および信頼性の高い動作を保証するための堅牢な構造を備えています。モジュラー設計と柔軟性により、幅広いウェハハンドリングアプリケーションを実現します。RECIF SRT300T69は、最大5つの(5)積載カセットの迅速な転送を可能にする空気軸受カセットツーカセットトランスポーター(CCT)シャトルを利用しています。Centronixローダー/アンローダー制御装置は、最大4つのウェーハ処理モジュールのプロセス時間を正確に管理できるため、複数のプロセスモジュールを同じシステム内に統合できます。CCTシャトルの高速転送機構とCentronixコントロールユニットは、SRT300T69が高速で効率的で正確な性能を提供できることを保証します。RECIF SRT300T69は、ウェーハセキュリティを確保するための安全機能を備えています。これらの機能には、デュアルゾーンの安全インターロックが含まれており、2つの(2)潜在的なスイッチングポイントが常に関与して、不正なウェーハ接触を防ぐことができます。SRT300T69にはWaferForceTMメカニズムが含まれており、外部接触によるウェーハの破損を防ぎます。この機能は、ロボットアームが複数のウェーハを一度に輸送する場合に特に有益です。また、ロボットアームの機能に異常やジャムを検出する振動センサーや衝撃センサーを搭載しています。RECIF SRT300T69はステンレス鋼およびアルミニウムから堅牢で、信頼できる操作を保障するために組み立てられます。また、SRT300T69は非常停止スイッチを使用しており、アクティブ化されたときにウエハハンドラに電源を素早く切断します。これにより、誤ったウェーハの損傷を防ぎます。このマシンには光ファイバー制御ツールが装備されているため、オペレータは手動でウェーハハンドラを制御する必要はありません。RECIF SRT300T69には、手動、半自動、または完全自動化された操作でインストールする機能など、複数の構成オプションがあります。さらに、Spin Coater、 Dispenser、 Proberデバイスなど、幅広いプロセスモジュールに組み込むことができます。これにより、プロセスの効率とスループットを得るための究極の柔軟性が得られます。全体として、SRT300T69は300mmウェハハンドリング用に設計された強力で信頼性の高いウェハハンドラです。高いスループット、安全なウェーハハンドリング、堅牢な構造、複数の構成を提供する柔軟性を備えています。RECIF SRT300T69は、効率的な作業環境を提供しながら、正確性と再現性を確保します。
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