中古 RECIF SPP 200S #9116244 を販売中

RECIF SPP 200Sは、2インチウェーハから200mmウェーハまでのあらゆるものを効率的かつ正確に転送できる高スループットウェーハハンドラです。このツールは、プログラム可能なローダーとロボットを備えており、いつでも最大4つのカセットを輸送することができます。さらに、SPP 200Sは、ウェーハの正確な取り扱いと転送を確実にするための自動ビジョンキャリブレーションと、ウェーハの向きを確認できる自動装置を提供し、迅速な負荷とアンロードを可能にします。オプションのカセットトランスポートシステムを使用することで、ウェハハンドリングを高速化できます。RECIF SPP 200Sには、ウェーハ処理用に特別に設計されたさまざまなツールがあります。カセットローダーは、自動ビジョンキャリブレーションの助けを借りて、1つのカセットから別のカセットへのウェーハの効率的な転送を可能にします。工具上部に位置するロボットアームは、精密セラミックモーターで駆動され、1荷重につき最大4つのカセットを処理して、迅速かつ安全に移動するように設計されています。さらに、このツールの光学センサは、ローディングとアンロード時にウェーハの向きを検出し、より効率的で正確な処理を行うことができます。SPP 200Sは、パーティクルがチャンバーに侵入しないようにコーティングされた密閉環境などの安全機能と、ロボットを損傷から保護するためのウェーハブレイクユニットを備えています。クイックリリースシャッターは、洗浄またはメンテナンスのためにチャンバーを完全に閉じる機能も提供し、ツールには13ゾーンの温度制御マシンがあります。これにより、ウェーハのより正確な温度管理が可能になり、ウェーハの一貫した正確な取り扱いが保証されます。最後に、RECIF SPP 200Sには高度なソフトウェアツールが搭載されており、オペレータはツールを素早く簡単にプログラムして監視することができます。SPPの高度なユーザートラッキングソフトウェアを使用して、チャンバー内のウェーハ位置を追跡することができ、ウェーハハンドラの簡単かつ正確な校正と追跡を可能にします。全体として、SPP 200Sはパワフルで使いやすいウェハハンドラであり、迅速かつ効率的なウェハハンドリングを提供するように設計されています。プログラマブルロボット、自動ビジョンキャリブレーション、ウェーハブレイク安全資産を備えたRECIF SPP 200Sは、あらゆる産業用途に適しています。