中古 RECIF R2D Comet #191003 を販売中

RECIF R2D Cometは、生産ライン内のさまざまな工具間でシリコンウェーハを正確かつ正確に転送できるように設計された高精度ウェーハハンドラです。このマシンは、幅広いプロセスツールやインストゥルメントと直接インタフェースし、信頼性が高く、高精度で統合しやすいウェハハンドリングソリューションを提供します。R2D Cometの主な機能は次のとおりです。最大300mmウェーハ処理機能ツールからツールへの高精度な転送精密アライメントセクションを備えたエアロードポート迅速かつ正確なピックアップのための真空チャック搬送中にウェーハを正確に向けるためのロボットアームが安全に配置されています。クローズループシステムのR2D従って生産プロセスの異なった用具間のクリーンで、精密なウェーハの移動は収穫の質およびプロダクトスループットを改善します。最大300mmのウエハーに対応できるため、ハイスループットプロセスに最適です。Cometに含まれる空気負荷ポートは、搬送時にウェーハR2D正確に整列させることを保証し、ロボットアームと真空チャックはウェーハの正確な向きとピックアップを可能にします。さらに、ロボットアーム位置を正確に制御するクローズドループシステムを搭載しているため、搬送時にウェーハを常に確実に固定できます。さらに、RECIF R2D Cometはオープンアーキテクチャを備えており、センサー、スキャナ、検査ツールなどの外部機器をプロセスに容易に統合できます。これにより、幅広い生産ラインのための非常に汎用性の高い柔軟なソリューションとなります。最後に、機械の低消費電力は、電力が限られている生産環境で便利に使用できることを意味します。全体として、R2D Cometは生産ラインでの効率的かつ正確なウェーハ処理作業に最適です。高精度の転送機能と最大300mmウェーハの処理能力により、ハイスループットプロセスに最適なソリューションです。さらに、機械のオープンアーキテクチャは外部機器の統合を可能にしますが、低消費電力は電力の制限に挑戦することなく使用できることを保証します。