中古 RECIF MGI ALI6 #191000 を販売中

RECIF MGI ALI6ウェーハハンドラは、先端材料研究および半導体製造のために設計された自動ウェーハハンドリング装置です。このシステムは、高性能のウェーハハンドリングロボットと統合されたウェーハハンドリングサブシステムで構成されており、さまざまな材料プロセスにわたって完全な柔軟性と再現性を提供します。ALI6には、デュアルアーム高速連結ロボットが搭載されており、合計範囲は650mmで、360度のフルアクセスが可能です。最高速度4700mm/s2、位置決め精度0。1mm、オープンループトルク制御が可能です。一度に最大4つのウェーハを持ち運ぶことができ、1ウェーハにつき3。2kgの空の重量があります。ロボットの高精度と再現性により、プロセスチャンバ上にウェーハを正確に配置し、最適なプロセス結果を得ることができます。ウエハハンドリングサブシステムには、ウエハオリエンテーション、リフティング、クリーニング機能、およびソフトウェア制御温度制御ユニットなどの機能が組み込まれています。これは、所望のセットポイントの+/-0。5°C以内で正確かつ再現可能な温度制御を保証するように設計されています。この機械は、320mm、 200mm、 150mmのウェーハで動作し、ウェーハの動きをステップおよびリピートすることができます。ウェハハンドリングサブシステムの最大速度は0。9m/s、最大加速度は1Gです。MGI ALI6は革新的で自動化されたウェーハ処理ツールで、信頼性と再現性の高いウェーハ処理を保証するために特別に設計された独自の機能を組み合わせています。材料加工や生産タスクを幅広くサポートする高性能プラットフォームを提供し、毎回再現性のある結果を提供します。統合されたウェーハハンドリングサブシステムは、短いサイクルタイムに最適化されており、スループットを向上させるための迅速かつ正確なウェーハ処理を保証します。