中古 RECIF IDLW8MR #9174913 を販売中

RECIF IDLW8MRは、半導体製造施設の中でウェーハを輸送および処理するために設計されたハンドラです。堅牢な機械設計と柔軟なオートメーション装置を備えているため、既存の半導体製造プロセスに組み込むことができます。機械は速く、信頼できる物質的なローディングのための横の、自動化されたカセットのローディングシステムを使用します。カセットローダーは、ウェーハストレージカセットからプロセスポッドに複数のウェーハを安全かつ自動的に輸送することができ、ハンドラーは多数のプロセスを実行することができます。IDLW8MRの本体は鋳造アルミニウム製で、真空密封された不活性ガス流量ユニットを備えており、すべてのステップでウェーハの正処理を提供します。また、ウェーハの存在を検出できる高度なビジョンマシンと、ロボットアームを内蔵した特許取得済みのプロセスポッドキャリアを備え、ロボットヘッド内の任意の向きにウェーハを取り付けることができます。このハンドラは45度のプロセスエリア傾斜で設計されており、ウェーハ表面積を効率的に利用することができます。また、独自の熱化プロファイル機能を備えており、ウェーハ処理に適した熱環境を確保しています。ロボットアームはまた、複数のプロセスを1回のパスで完了させることができ、サイクル時間を短縮し、有害な潜在的な汚染物質を排除することを意味します。さらに、ハンドラの再現可能な精度と速度は、コストの削減と歩留まりの向上に役立ちます。ハンドラーは直感的なコントローラで動作し、使いやすく修復できます。モジュラー構造により、故障時の高速部品交換が可能です。また、汚染を最小限に抑えてプロセス温度を維持するためのウォーターツールも備えています。専用の取り外し可能なチップキャッチャーは、プロセスによって生成された粒子を収集し、環境への侵入を防ぐように設計されています。全体として、RECIF IDLW8MRは信頼性の高い効率的なウェハハンドラであり、半導体製造プロセスの効率を高めるのに役立ちます。その高度で統合された機能、堅牢な設計、使いやすいコントローラは、半導体製造などの業界にとって理想的な選択肢です。