中古 RECIF IDLW6MR #9174912 を販売中

RECIF IDLW6MRは、半導体製造設備における300mmウェーハの自動加工用に設計されたウェーハハンドラ装置です。この高性能システムは、高い精度を維持しながら、プロセス制御とスループットを向上させます。IDLW6MRウェーハハンドラは、業界の半導体プロセス標準を満たし、上回るように設計されています。モジュラー設計で、最大300mmウェーハに対応する6つの独立したカルーセルを備えています。このウエハハンドラは、1。7mmまでの6インチのピッチ、および2。7mmまでの10インチのピッチを備えています。また、ウェーハの積み降ろしが容易なパレットステーション、メンテナンス用のオプションの台座ステーションも含まれています。その中央コントローラーユニットは、高度な機能のためのプログラミング制御と複数のオプションを提供します。また、シングルトラックロボティクスとダブルトラックロボティクス、シングルトラックコンベアにも対応しています。RECIF IDLW6MRウェーハハンドラには、高精度ローダー/アンローダー（LU）とウェーハ転送用のデバイスステージが装備されています。LUは4軸ロボットユニット、3つの真空アーム、5インチまたは300mmカセットにウェーハを積み降ろすための3つのワイパーを備えています。一方、デバイスステージは、プロセスチャンバーの読み込み速度を向上させ、スループットを最大化するように設計されています。これは、センサーベースのローディング/アンロードとチャンバーとLU間の自動転送メカニズムを提供しています。IDLW6MRウエハハンドラには、上下両腕アライメントを含む高度なウエハアライメント機能が搭載されています。また、現場監視用のセンサーも内蔵しており、ウェハや工具の状態をリアルタイムで把握できます。一方、統合されたタッチスクリーンオペレーターインターフェイスは、プロセスパラメータの調整制御と入力を可能にします。RECIF IDLW6MRウエハハンドラは、逆転防止スイッチ、温度制御ヒーター、8点式電気連結アセットなど、さまざまな安全機能を備え、使いやすさと信頼性を考慮して設計されています。さらに、モジュラー設計により、さまざまなアプリケーションに迅速かつ効率的に適応することができます。これは、最も要求の厳しい半導体製造環境で最適な性能を発揮するように設計されています。