中古 QMC LES-3500 #9098093 を販売中

QMC LES-3500は、幅広い半導体生産アプリケーション向けに設計されたウェハハンドラです。LES-3500は、真空ピックアップツールを備えた高精度の電動ステージを使用して、プロセス機器、ロードロック、およびロードステーション間で半導体ウェーハを移動します。50mm〜300mmのウエハサイズに対応し、最大250mm/secのガントリー速度と1。0 µmの高精度な再現性を備え、高精度な大規模生産を可能にします。このシステムは、直感的なX/Y/ θ（回転軸）とロータリーステージメカニズムを備え、柔軟で簡単に調整できるように設計されています。また、調整後にステージを素早く正確にリセットできる革新的な「ゼロステージリセット」機能も搭載しています。QMC LES-3500は、優れた耐久性と長期的な安定性を確保し、非常に堅牢な材料から構成されています。低慣性ステージモーターと高精度のダイレクトドライブボールねじにより、あらゆる方向にスムーズで安定した動きを保証します。また、剛性のあるアルミニウムフレームを備えており、ステージにしっかりとした基盤を提供し、長期的な精度と安定性を確保するのに役立ちます。このシステムは、ユーザーフレンドリーなソフトウェア、数多くの安全機能、オンボード環境モニタリングシステムを使用して、簡単に統合および維持できるように設計されています。このソフトウェアは、さまざまなコマンドバースト機能、およびデジタルI/Oおよびイーサネット通信をサポートしているため、さまざまなプロセス機器と互換性があります。また、高温環境下でもウェーハを安全かつ安全に取り扱うため、さまざまなセンサーやアラームを搭載しています。全体として、LES-3500は生産ラインで半導体ウェーハを取り扱い、輸送するための高精度、信頼性、費用対効果の高いソリューションを提供します。直感的な設計と堅牢な構造、柔軟性と強力な機能を兼ね備えているため、幅広い半導体製造および製造関連アプリケーションに最適です。