中古 PRO CABIN 667 #9148224 を販売中

PRO CABIN 667は、制御された環境で基板を管理および処理するように設計された高度なウェハハンドラです。667は統合されたベローズが付いている堅牢な金属ハウジングを特色にし、運転中に高められた汚染の分離および環境保護を提供します。ユニット内では、モータ駆動トランスファーアームが3つの主要ゾーン間で基板を正確に移動します。入力、プロセス、出力。これらのゾーンには、基板を正確にロードおよびアンロードするように設計された個別に調整可能なクラスタがあります。このユニットには独立したコントローラが搭載されており、機器のセットアップと管理に使いやすいインターフェースを提供します。さらに、診断レポート機能により、エラーを簡単に特定し、誤動作を迅速に修正できます。オープンコミュニケーションプロトコルにより、データストレージ、バーコードリーダーなどの外部デバイスとの簡単な統合と互換性が可能です。PRO CABIN 667には、最適な基板の取り扱いと加工のために調整できる多目的リフトが装備されています。リフトは2速サーボモータによって駆動され、搬送および加工時に基板の位置を正確に制御します。また、ウエハー、セラミック試料、ダイ、組立部品など様々な基板に対応可能です。また、革新的な「クリーンバイパス」システムを搭載しており、個々のバッチを手動で洗浄する必要なく、クリーン基板のバッチ処理が可能です。バイパスユニットもサイクルタイムを短縮し、出力処理の増加を可能にします。さらに、667は、広範囲の温度で基板を自動処理することができます。室温から摂氏350度まで。温度制御装置を内蔵し、温度の均一性と精度の両方を確保しながら、外部熱電対やプローブの必要性を排除します。また、センサーやフィードバックオプションも豊富に用意されており、高精度なプロセス制御が可能です。全体的に、PRO CABIN 667は、基板を管理および処理するための最適なソリューションです。堅牢な金属ハウジング、精密モータ駆動トランスファーアーム、使いやすいインターフェイス、内蔵の温度制御アセットにより、困難な環境でも最適化されたパフォーマンスを保証します。