中古 PRI / EQUIPE WT 405 #121478 を販売中

PRI/EQUIPE WT 405ウェハンドラは、薄型半導体ウェハーを扱うための汎用性と効率的なツールです。この自動化された装置は、安全で効率的で正確な方法で薄く壊れやすいウェーハを処理するために設計されています。ウェーハを回転させ、ウェーハボートやロードポートに配置することができます。PRI WT 405には3軸ロボットアームが装備されており、薄型ウエハの正確な位置決めが可能です。ロボットアームは、2つの回転軸を使用し、1つはウェーハを上下に回転させ、1つはウェーハを左右に移動させます。また、ウェーハをボートやロードポートに正確に配置し、最小限の労力で速度制御機構を備えています。EQUIPE WT 405にまた偶然のウェーハの損傷か破損を防ぐ安全機能があります。これは、システムが障害を検出することができ、ウェーハが輸送中に損傷しないようにする統合レーザースキャナーを備えており、ユニットが問題を検出した場合に使用できる2つの緊急停止ボタンが含まれています。また、ロボットアームの動作時に点滅する信号ランプを搭載しているため、オペレータは動作を意識することができます。WT 405ウェーハハンドラは、直径2インチから12インチまでのウェーハを取り扱うことができます。10Kウェーハハンドリングおよびストレージシステムと組み合わせて使用することができ、ウェーハを安全に保管し、必要に応じてウェーハハンドラに素早く転送することができます。ペリスコープ監視アセットの組み込みにより、ツールの効率が向上します。このモデルにより、オペレータは、手動でボートから検査または削除することなく、ボートにいる間にウェーハを検査および操作することができ、潜在的な破損を回避できます。PRI/EQUIPE WT 405は、安全性、正確性、効率性を兼ね備えており、半導体生産におけるウェーハ処理に最適です。そのデザインは、薄型ウエハを損傷することなく扱うことができ、それぞれのボートまたは負荷ポートに正確にウェハを配置するためにカウントすることができます。