中古 PRI / EQUIPE PRE-200-CE #9304435 を販売中

PRI/EQUIPE PRE-200-CE Wafer Handlerは、プロセスとハンドリングデバイスの間で半導体ウェーハを移動するために設計された半自動ウェーハハンドラです。8インチおよび12インチのウェーハ用に特別に設計されており、異なるツール間の自動組立またはウェーハの転送に最適です。PRI PRE-200-CEウェハハンドラは、2つの駆動モーターを備えた機械式カートベースを介して接続された2つのロボットアームで構成されています。各ロボットアームは、カセットからウェーハを描画し、ハンドリング装置に転送し、ウェーハをカセットに戻すことができます。ロボットアームは独立したコントローラによって操作され、最大8つの選択したウェーハを転送するようにプログラムすることができます。コントローラーはまた、処理中にウェーハの損傷を防ぐために、単一または複数のウェーハを迅速に解放することができます。ウェハハンドラには2つの安全インターロックスイッチがあり、安全でない状態を検出すると装置をシャットダウンします。2つの安全スイッチは、サブロックとマスターロックです。サブロックはロボットベース上に配置され、デバイスの動作中にロボットアームの動きを防ぎます。マスターロックはウェハハンドラの上部にあり、デバイスの動作を妨げます。ウェーハハンドラには真空システムがあり、ウェーハに負圧を発生させて、転送中にウェーハを確実に把握して保持します。また、真空を作成し、ウェーハの表面にリリーステープを適用して、転送中の静的なビルドアップを最小限に抑えるテープアプリケータもあります。EQUIPE PRE-200-CEウェーハハンドラーは、ウェーハや環境への事故や損傷を防ぐ多くの安全対策で設計されています。ウェハハンドラは、緊急時の安全機能を統合しており、すべてのプロセス設定を保持しながら、停電またはユニットの一時停止から回復することができます。また、EMIシールド、耐火排気管、圧力と温度の検出機も内蔵しています。全体として、PRE-200-CE Wafer Handlerは、8インチおよび12インチのウェーハを安全かつ正確に転送、整列、および処理できる、効果的で信頼性の高いウェーハハンドリングソリューションです。高度で統合された安全機能を備えたこのウェーハハンドラは、ウェーハや環境に損傷を与えることなく、半導体ウェーハの高速かつ正確な転送を必要とするセクターに優れた性能を提供します。