中古 PRI / EQUIPE ESC 218BT-FWS #143147 を販売中

PRI/EQUIPE ESC 218BT-FWSは、さまざまな厚さとサイズのさまざまな半導体ウェーハを自動的に確実にピックアップ、輸送、並べ替えするために使用される高度なウェーハハンドラです。このデバイスは、ウェーハの側面を確実にグリップし、目的の場所に正確に移動し、ウェーハ処理が完了した後に解放するように設計されています。PRI ESC 218BT-FWSには最先端のメカニカルアームが装備されており、必要な真空圧を維持しながらウェーハの正確な移動と操縦を可能にします。オペレータは、ウェーハの位置と所望の方向と移動角度に合わせて素早く調整することができます。アームは、任意の電気干渉に対する保護のための帯電防止カバーが取り付けられています。EQUIPE ESC 218BT-FWSは、頑丈なアルミニウムフレームと、光学、温度、圧力、湿度など、さまざまなセンサーで構成されています。この構造は信頼できる操作のための正確さそして耐久性を提供します。ウェハハンドラには複数のSCSIツールインターフェイスがあり、他のシステムやデバイスとの相互接続が可能です。これには、自動化のための設計データや指示データの転送、ウェーハ処理手順のカスタマイズなどのデータアクセスと検索が含まれます。ユーザーインタラクション用のタッチスクリーンコントロールパネルも装備しています。ESC 218BT-FWSは、誤った向き、位置のずれ、または粒子の汚染を検出するビジョンセンサを含む、取り扱い中のウェーハを保護するための安全対策で設計されています。システムには、意図しない操作や保護されていないシステムへの情報の送信を防ぐためのレーザーインターロック機能も含まれています。ウエハハンドラには、ウエハハンドリングを最適化するための多数のプログラムと機能が装備されています。これには、真空チャンバの温度、真空圧力、およびハンドラからのウェーハの放出を制御および管理するための組み込みアルゴリズムが含まれています。さらに、チャンバー内で発生する問題を監視および診断することも可能であり、オペレータは設定を調整または調整することができます。要するに、PRI/EQUIPE ESC 218BT-FWSは、さまざまなウェハを正確かつ安全に処理するように設計された高度なウェハハンドラです。メカニカルアーム、多数のセンサー、さまざまなユーザー支援ツールと機能を備えており、正確なハンドリングと最適なウェーハ性能を保証します。このデバイスはまた、ウェーハを保護し、取り扱い全体にわたって無傷で保つための安全対策および回復プロトコルを備えて設計されています。