中古 PRI / EQUIPE ESC 212B #9140501 を販売中

PRI/EQUIPE ESC 212Bウェーハハンドラは、ウェーハを含む繊細な操作に特化した半導体加工ツールです。精密モータ、アクチュエータ、その他の部品を使用して、ウェーハを正確かつ繰り返し処理します。PRI ESC 212Bは、ウェーハ径が2「〜8」、厚さが150 μ m〜5000 μ mの6軸ウェーハハンドラです。マシンはx、 y、 z、 θ 1、 θ 2、 θ 3方向にウェーハを移動させ、ウェーハの正確な制御と位置決めを可能にします。また、ピンセット、真空チャック、リフターなど幅広いウェーハ搬送工具をサポートしています。EQUIPE ESC 212Bの重要な特徴は、ウェハの完全性を維持するために温度と湿度制御です。機械は1°Cと60°Cの間の温度較差および10％から80％ RHの間の湿気の範囲を特色にします。これにより、幅広いプロセス条件が可能になり、ウェーハへの潜在的な損傷の可能性が低減されます。ESC 212Bは、密閉されたほこりのない環境で最大2つのウェーハを同時に輸送することができます。このマシンには、シングルウェーハ処理またはデュアルウェーハ処理を可能にする2つのウェーハカセットが装備されています。ウェーハはカセット間でエアベアリングディスクを介して輸送され、ウェーハ表面への粒子汚染の可能性が低減されます。また、粗さ、結晶配向、粒子汚染などのウェーハの健康状態をリアルタイムで監視することができます。これにより、ウェーハの移動中の自動品質管理が可能になり、高品質のウェーハのみが確実に処理されます。最後に、PRI/EQUIPE ESC 212Bウェハンドラは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを使用してユーザーフレンドリーに設計されています。これにより、マシンパラメータを素早く設定でき、プロセス間の切り替えが容易になります。また、緊急停止ボタン、リバースモーションセンサー、安全操作用インターロックなどの広範な安全機能も備えています。結論として、PRI ESC 212Bウェハハンドラは、精度と精度を備えたウェハハンドリングのための強力なツールです。温度および湿度制御、ウェーハ監視、デュアルウェーハ処理、およびユーザーフレンドリーなインターフェースにより、半導体処理のための非常に汎用性の高いツールとなります。