中古 PRI / EQUIPE ESC 100 #9232813 を販売中

PRI/EQUIPE ESC 100は、ウェーハ処理プロセスを完全に自動化するために、正確で反復可能なモーションコントロールを備えた自動ウェーハハンドラです。この装置は、高精度と再現性のためのメインX -Y位置決めステージを含むデュアルステージデザインを備えています。メインステージは、4インチまでのダイサイズに対応できる2軸リニア変換ステージで構成されています。第2段階は精密な手動ウェーハの処理段階であり、微調整とウェーハの手動選択に最適です。PRI ESC 100はまた、システム精度のための最先端のサーボ制御と追跡技術を備えています。これは、0。25ミクロンの高分解能光PLCエンコーダを使用して実現されます。これにより、複雑なウェーハ処理プロセスを実行する際に比類のない精度が得られます。可読性の高い光学エンコーダは、配線のスムーズな変更と位置決め精度の向上を可能にします。EQUIPE ESC 100には、ウエハ検査を可能にする統合ビジョンユニットが含まれています。このマシンは、ソフトウェア制御アルゴリズムを備えたCCDカメラ、光源、フィルター、および画像プロセッサで構成され、ウェーハの欠陥を正確に検出します。ビジョンツールは、プロセスのニーズに応じて、オンラインおよびオフラインの両方の欠陥解析に使用できます。ESC 100は、高度な物理設計も備えています。パラメータ設定用メモリ、プログラム記憶用メモリ、ユニット上部にプッシュ型ボタンスイッチ、背面にプッシュ型の入出力端子を搭載しており、ロボットなどの外部システムとの接続が可能です。その他の機能には、交換しやすい部品、広い動作温度範囲（-20°C〜60°C）、ほこりや水に対する保護のためのIP24定格などがあります。PRI/EQUIPE ESC 100は、自動ウェーハ処理のための完全なソリューションを提供します。精密モーションコントロール技術と汎用性の高いビジョンアセットで設計されており、ウェーハの正確な監視と堅牢なプロセス制御を可能にします。すべての機能は、そのコンパクトなデザインとともに、産業および実験室のアプリケーションに最適です。