中古 PRI / EQUIPE ESC 100 #74216 を販売中

PRI/EQUIPE ESC-100ウェーハハンドラは、大量生産のための信頼性と正確なウェーハ転送を可能にするように設計された完全自動ウェーハハンドリング装置です。ハイエンド家電やその他の要求の厳しい半導体アプリケーションの製造に最適なソリューションです。システムは、転送ヘッド、ウェハカルーセル、ウェハハンドラ、およびウェハステージで構成されています。PRI ESC-100ユニットの転送ヘッドは、正確で信頼性の高いウェーハ転送を提供するように設計されています。デュアルグリッパーを装備し、ウェーハを損傷することなく確実に保持して転送します。グリッパーは直径8インチまでウェハを握ることができ、最大23ニュートンのピックアンドプレースフォースを備えています。トランスファーヘッドは2つのDCサーボモータで駆動され、正確なトランスファーモーションを実行し、動作中に調整することができます。また、+/-45度の範囲内で任意の方向にウェーハのピックアップと配置を行うことができます。EQUIPE ESC-100機のウェーハカルーセルは、動作中のウェーハの保管に使用されます。直径8インチまでの最大16ウェーハを保持できます。カルーセルの角度は、ツールの転送モーションに合わせて調整することもでき、より速く、より正確なウェーハの動きを可能にします。さらに、その高度な設計は、バッフリングとクロス汚染を排除するのに役立ちます。ウェーハハンドラは、ウェーハ転送資産の中心ESC-100なります。ウェーハ操作機構を搭載したロボットアームです。このメカニズムは、ウェーハを複数の方向に回転、傾けるだけでなく、正確さと速度でウェーハをピックアップ、配置、および転送することができます。ウェーハハンドラは、損傷やウェーハの損失を防ぐ保護モデルも備えています。最後に、PRI/EQUIPE ESC-100装置のウェーハステージを使用して、転送動作中にウェーハを保持します。高精度のステッピングモーターとリニアエンコーダで製造され、ウェハの位置精度を確保しています。また、ステージはサーマルドリフトを最小限に抑え、許容誤差を約0。25 mmに低減するように設計されています。全体として、PRI ESC-100ウェハハンドラは、高度で信頼性が高く、正確な自動ウェハトランスファーを提供します。その洗練された設計は比類のない性能を提供し、家電やその他の半導体アプリケーションの大量製造を可能にします。