中古 PRI / EQUIPE ATM 2211 #9051645 を販売中

PRI/EQUIPE ATM 2211ウェーハハンドラは、1時間あたり最大1152個のウェーハを処理するように設計された高精度の粒子輸送装置です。太陽電池や半導体などの高品質な単層・多層回路基板を製造するために設計されました。PRI ATM 2211は完全に自動化されたウェーハハンドラで、ユーザーの介入なしでプロセスツールとトレイ間でウェーハを転送することができます。量産プラットフォームに搭載されたロボット制御の6軸ウェーハ搬送システムを備えています。ウエハハンドラは、ウエハを最大+/-60度回転させるヘッド傾斜機構を備えています。これにより、ウェーハ上のエッチングパターンの正確なアライメントが可能になります。ウェハハンドラには、スタックからスタックへのウェハーの輸送をサポートする制御エアシューズ機構もあります。この製品は、さまざまなタイプの機器の統合と相互作用を可能にするモジュラー通信インタフェースで設計されています。また、工場ネットワーク上のイーサネット接続を備えており、リモートメンテナンスが容易です。ウェハハンドラには、プロセス全体のすべての条件を監視する複数のセンサーを組み込んだ統合安全ユニットがあります。ウェーハハンドラは、トレイ転送、ロードポート、ピンリフトヘッド、アンロードポート、堆積アームなど、さまざまな機器やアクセサリと互換性があるように設計されています。実装システム、レーザー線加工システム、インライン計測システムなど、最大15のツールと統合できます。また、デュアルポート処理機能を搭載し、2つの工具を同時に処理することができます。EQUIPE ATM 2211ウェハンドラは、あらゆる大容量の設備に最適です。このパワフルで信頼性の高いウェハハンドリングマシンは、高い精度と再現性を提供し、プロセス集約型の生産環境に不可欠なツールです。堅牢なエンジニアリングとビルド品質により、このマシンは今後何年もの間トラブルのない動作を保証するように設計されています。