中古 PRI / EQUIPE ATM 104 #9140500 を販売中

PRI/EQUIPE ATM 104は、さまざまな半導体製造プロセスで使用されるウェハハンドラです。ウエハハンドラの主な機能は、工場内の様々な加工機器の間でウエハを輸送することです。ウェーハのグリップを一定に保ちながら機器間でウェーハを移動させ、損傷や汚染を防ぐことができます。PRI ATM 104ウェーハハンドラは、空気圧ウェーハトランスポータです。本装置は、半導体製造装置の間でウェーハを素早く正確に移動させるとともに、ウェーハを一貫して保持するように設計されています。これは、ウェーハの反り、割れ、汚染を防ぐために行われます。このシステムは、一連の空気圧サクションカップを使用して、ウェーハを静かに保持して持ち運びます。空気圧の吸引のコップは調節可能な空気圧縮機に接続されます。EQUIPE ATM 104には、ウェーハの正しい取り扱いを保証するためにいくつかの安全機能が組み込まれています。ウェーハハンドラは、機械センサーと光学センサーの両方を使用して、ユニット内のウェーハの存在を検出します。ウェーハがウェーハハンドラから落下した場合、緊急停止機能が作動し、機械全体が停止します。これにより、ツールがウェーハをさらに輸送するのを防ぎ、ウェーハの損傷を防ぐのに役立ちます。ATM 104は独自のサーボモータ機能を備えており、ウェーハの迅速な操縦と正確な位置決めを可能にします。サーボモーターは調節可能で、より速く、より正確なウェーハの動きを可能にします。さらに、ウェハハンドラには、さまざまなウェハサイズと重量に対応するメディアバッファアセットがあります。PRI/EQUIPE ATM 104ウェハンドラは、半導体加工に使用される信頼性と耐久性の高いツールです。その分離されたハウジング、有効な吸引のコップ、および緊急停止の特徴は損傷か汚染を危険にさらすことなく処理装置間のウェーハを運ぶ安全で、有効な手段を提供します。モダンなサーボモータ操作により、ウェハの移動と位置決めを迅速かつ効率的に行うことができます。そのメディアバッファ機能は、ウェハサイズと重量の範囲と互換性があります。全体として、PRI ATM 104は効果的で効率的なウェーハ処理モデルです。