中古 OPTO MICRON FX-1209 #293641315 を販売中
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OPTO MICRON FX-1209ウェーハハンドラは、ウェーハをプロセスチャンバーに素早く正確に搬送するための先進的なロボットウェーハハンドリング装置です。汎用性とモジュール設計により、複数のコンポーネントを追加することができ、最適なパフォーマンスと柔軟性を提供します。このシステムは、半導体基板の操作においてユニークな可能性を提供する、高精度な配置の多種多様な構成を提供します。FX-1209は、最大直径500mmまでのさまざまなサイズのウェーハに対応するように構成された統合ロボットアームアセンブリを使用して構築されています。このウエハハンドラは、高精度のデュアル軸ロボットと、プロポジオナル、サーボコントローラなどを組み合わせたX、 Y、 Z軸の動きを可能にする部品で構成されています。ロボットとコントローラは、ACメインまたはオプションのDCメイン電圧で駆動されます。ロボットは、直感的なWindowsベースのソフトウェアパッケージを介してユーザーによって操作およびプログラムすることができます。ロボットアームとコントローラは、プロセスチャンバーやその他の外部システムとインタフェースし、測定、監視、制御システムの統合を可能にします。オプションのビジョンシステム、ハンドルマニピュレータ、トレイローディングアクセサリなど、幅広いコンポーネントにより、特定のプロセス要件に合わせてカスタマイズされたソリューションを提供します。OPTO MICRON FX-1209には最先端のモーションコントロールユニットが搭載されており、位置決めとスループットの高精度を実現しています。柔軟で強力なソフトウェアにより、マシンの操作を簡単にセットアップ、最適化、監視できます。さらに、このツールは、他のプロセスシステムとの統合を可能にするさまざまな通信プロトコルをサポートしています。FX-1209には、ESD接地資産や安全インターロックなどの高度な安全機能が組み込まれており、人員、プロセス、機械の安全性と保護を向上させています。OPTO MICRON FX-1209ウェーハハンドラは、半導体製造、フラットパネルディスプレイ加工、LEDアセンブリ、太陽電池製造など、幅広いプロセス用途に使用できるように設計されています。堅牢で信頼性の高いモデルは、産業用途で好まれます。
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