中古 OLYMPUS FR3200 #293830855 を販売中

OLYMPUS FR3200は、半導体アプリケーションでのウェーハ処理に使用される完全自動ウェーハ処理システムです。熱処理、フォトリソグラフィ、エッチング、研磨、カプセル化など、さまざまなプロセスで使用できるように設計されています。FR3200は自動ウェーハ交換、自動注入/分配、および8"までのウェーハの直径を扱うことができる装備されています。OLYMPUS FR3200には、正確な位置決めと移動のための3軸ウェーハロボットが装備されています。ウェーハ交換ステーションは、ハンドラとプロセスツールを接続するために使用されます。FR3200はオプションの自動注入/分配モジュールとインタフェースすることができ、手動でウェーハをロードまたはアンロードすることなく、オペレータがウェーハの負荷を制御し、プロセスをアンロードすることができます。これにより、ウェーハの積み降ろしにかかる手間が軽減されます。8インチモデルでは1時間に最大30個のウェーハを搭載し、高スループットを実現します。ウェーハハンドラは、オプションと設定をナビゲートするための大きな色のタッチスクリーンディスプレイで、オペレータに優しいように設計されています。ディスプレイには、リアルタイムプロセスモニターとナビゲートに便利な完全なメニューが含まれています。また、ウェハハンドラは自動的にプロセス条件をチェックし、プロセスに障害や不規則性がある場合はオペレータに警告します。OLYMPUS FR3200には、ウェハハンドラとプロセスツールの両方を衝突から保護する衝突防止センサーが装備されています。ウェーハハンドラには、ハンドリング処理中にウェーハを保護するための振動およびショックアブソーバが含まれています。FR3200はクリーンルーム環境で使用するために設計されており、クラス1000クリーンルーム定格があります。これには、プロセス中にウェーハが汚染されないようにするためのHEPA濾過が含まれています。さらに、OLYMPUS FR3200には、プロセスに最適な条件を確保するための湿度および温度制御システムが内蔵されています。FR3200は容易な維持および修理のために設計されています。クイックリリースパーツや部品を素早く交換できるため、メンテナンスや修理にかかる時間を短縮できます。また、自動化された予防保守および診断機能を備えており、マシンが常に最適に動作していることを保証します。結論として、OLYMPUS FR3200は、さまざまな半導体プロセスで使用するために設計された完全自動ウェハハンドリングシステムです。8インチモデルで1時間に最大30個のウェーハを搭載し、高スループットを実現します。3軸ウェーハロボット、自動注入/分配モジュール、正確な位置決めと安全性のための衝突防止センサーを備えています。さらに、FR3200はメンテナンスと修理を容易にするように設計されており、最適なプロセス条件のための内蔵の湿度と温度制御が含まれています。