中古 OLYMPUS AL120-LMB12-LP3 #293668238 を販売中

OLYMPUS AL120-LMB12-LP3ウェーハハンドラは、大量のウェーハを処理するための高性能、完全自動化された半導体製造機です。リニアモータ駆動装置を搭載したセミオートウェーハハンドラで、12インチ（305mm）のウェーハを単一のリフトおよび搬送システムで正確に処理できます。さらに、正確な位置制御、ハンドリング効果の向上、高レベルのプロセス効率を実現するための磁気クランプも含まれています。このデバイスは、オープントップのワークエリアで便利に設計されており、ウェーハ輸送、アライメント、およびプロセスセルへの搬送のための複数の設備を搭載することができます。さらに、最新の設計には冷却ユニットが内蔵されており、機械部品の寿命と最適な性能のための熱制御を提供します。主な操作機能には、パネル操作のローディング/アンロード機、プロセスパラメータを設定するためのプログラマブルコントローラ、移動速度を管理するためのモーションコントローラなどがあります。さらに、このウェハハンドラは正確なタイミング制御とタイミング精度を提供し、再作業や材料コストの無駄を削減します。さらに、空気とウェーハの動きを高速かつ正確に流すために設計された真空チャックツールと、プロセス効率とパフォーマンスを最大限に高めるためにプロセスセル間の正確な分離距離を維持するLiftとDriveアセットを備えています。最後に、AL120-LMB12-LP3ウェーハハンドラは業界標準に完全に準拠しており、その動作のために特別に設計された統合されたソフトウェア、ハードウェア、およびコンポーネントが含まれています。この包括的な設計により、マシンを迅速かつ簡単にセットアップおよび操作でき、ユーザーはプロセスセルの生産における最大限のパフォーマンスと効率を体験することができます。