中古 NETZSCH CC 200 LT #293665628 を販売中
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NETZSCH CC 200 LTウエハハンドラは、幅広い用途に適した高精度で信頼性の高いウエハハンドリング装置です。CC 200 LTは、最大ウエハ径200mmの様々な厚さ、直径、形状のウェーハを確実に保持、転送するように設計されています。フェイルセーフウェーハクランプ機構を採用し、ウェーハを安全にグリップし、周囲全体に均一な力を発揮します。このユニットは、1時間あたり最大10,000サイクルの高いスループット速度と正確なウェーハアライメントにより、迅速なサイクルタイムを実現するように設計されています。ロードポートは、マガジンから迅速かつ簡単にウェーハの挿入と除去を提供します。VPU (Vacuum Pick-Up)マシンは、ウェーハハンドラと統合され、真空技術を使用してウェーハを安全にグリップし、プロセスステーションの適切なセクションに転送します。NETZSCH CC 200 LTは、オペレータの安全を確保するためのインターロックツール、誤ったマガジンの読み込みを防ぐ電子クランプ資産などの高度な安全機能を備えて設計されています。また、自動レーザーベースの厚さゲージもモデルに統合されており、1秒未満で正確で信頼性の高いウェーハ厚の測定値を提供します。CC 200 LTは、ウェーハクリーニング、イメージキャプチャ、測定&マーキング、超音波溶接、レーザー切断など、幅広い統合プロセス機能を備えています。このユニットは最大8つのプログラム可能なレシピもサポートしており、ユーザーはウェーハハンドラとプロセスパラメータを簡単にプログラムして保存することができます。さらに、操作性に優れた人間工学に基づいたデザインと、操作性に優れたWindowsベースのインターフェースにより、機器の制御と監視が容易になります。このユニットには、迅速なトラブルシューティングとメンテナンスを容易にするためのさまざまなステータスおよび診断インジケータが装備されています。最後に、このユニットは、自動ツールスキャン、ジョブ間の自動回転、自動ドッキングなど、さまざまなオプション機能を備えています。
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