中古 NADATECH RS2 #9314753 を販売中
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ID: 9314753
System
Steel frame
Steel bottom plate
Powder coated panels
EQUIPE ATM-407 Robot and robot track with vacuum backside
NADATECH Vacuum end effector with SURESCAN for wafer carrier mapping
(2) ASYST Loadports, 12" for FOUP and FOSB
INTEL System operating: >1,000 MHz
RAM: 1G
SSD HD: 80G
DVD Drive
LCD Monitor, 17"
Mini keyboard
Trackball mouse
Operating system: Windows XP.
NADATECH RS2は、半導体ウェーハの正確で自動的な取り扱いと制御のために設計された先進的なウェーハハンドラです。その高度な設計は、高精度の動き、優れたプロセス制御、優れた汎用性を提供します。最大リーチ755mmの5軸ロボットアームと6度の自由度を持つデルタヘッドを備えたRS2は、最大12インチのサイズのウェーハを正確に処理できます。また、3次元カウンターバランシング機能により、ウェーハの取り扱い精度に優れています。NADATECH RS2には、ウェーハ表面の欠陥、傷、粒子を検出するために設計された自動空気圧電気粒子検出装置が装備されており、安全かつ正確な動作のためにハンドリング指示を自動的に調整します。さらに、ウェーハの多軸アライメントを自動化するための精密ステージも用意されています。RS2には、最適なウェーハ環境条件を維持するための温度換気システムも含まれています。NADATECH RS2は、高速オープンループサーボユニットを誇り、25ミクロン以内に一貫した再現可能な精度で、高精度かつ再現性の高い位置決めを可能にします。この高度なウエハハンドラは、ウエハの直径と厚さに基づいて一度に最大50個のウエハを保持できるため、大量のアプリケーションに最適です。その高度なウェーハチャッキング機構は、さまざまなサイズ、形状、および材料のウェーハを処理するためのRS2を使用する柔軟性をさらに高めます。NADATECH RS2は、卓越した精度と精度により、薄型ウェーハの取り扱い、超精密アセンブリ、その他の超高精度要件に対応するアプリケーションに最適なソリューションです。安全性と利便性を高めるために、RS2は完全に自動化されたモードまたは手動モードの両方で動作するように設計されています。この柔軟性により、必要に応じて機械を手動操作に使用したり、完全に自動化された操作を使用してスループットを高めることができます。さらに、NADATECH RS2には、ウェーハの厚みゲージング、自動検索、プログラマブルなピック&プレイスルーチン、ユーザー定義の部品ハンドリングライブラリなど、さまざまな機能が含まれています。全体として、RS2は半導体ウェーハの正確な取り扱いと制御に最適なソリューションです。高度な設計により、大容量および超精度のウェハハンドリングアプリケーションに優れた汎用性、精度、および精度を提供します。
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