中古 NADATECH / ASYST SMS 2300SI #9226693 を販売中

NADATECH/ASYST SMS 2300SIは、Front-End-of-Line （FEOL）処理などの半導体製造アプリケーション向けに設計された高精度、高速ウェハハンドラです。このウェーハハンドラには、微小な位置決め技術が組み込まれているため、正確な動き調整と3軸のアラインメントが可能です。200mmウェーハ、300mmウェーハなど、さまざまなウェーハサイズに対応できる調整可能なチャックを搭載しています。装置は簡単な操作のために設計されています：それはユーザーフレンドリーなLCDインターフェイスを使用してさまざまな操作のためにセットアップし、構成することができます。最大125個のウェーハを搭載可能で、正確で信頼性の高いウェーハ操作のための真空ウェーハピックと配置システムを備えています。また、ウェーハの位置、温度、その他のプロセスパラメータを追跡するための統合監視ユニットを備えています。この機械は堅牢で信頼性の高いモータによって駆動され、低騒音動作と最大150woph （1時間あたりのウェーハ）の高速化を可能にします。また、故障時の安全を確保するための自動緊急停止機構も備えています。ウェーハ同士のぶつかり合いを防ぐ衝突防止機構と、予期せぬ事態に備えて使用できる緊急停止アセットを搭載しています。それに容易な維持および修理を可能にするモジュラー設計があります。ASYST SMS 2300SIは半導体業界で広く使用されており、FEOL処理に多用途で信頼性の高いソリューションを提供しています。マイクロポジショニング技術により、さまざまなウェーハサイズの正確で信頼性の高い動作が保証され、クイックコネクト機能により迅速かつ効率的なセットアップが可能です。モデルは容易な維持管理のために設計されています。