中古 MURATA SRC 330 #177091 を販売中

MURATA SRC 330は、半導体プロセス用途に適した信頼性の高い先進的なウエハハンドラです。SRC 330は、50mmから300mmまでの様々な径の複数のウエハを取り扱うことができます。このウエハハンドラは、精密な動きと高い再現性を提供するように設計されており、生産環境での使用に最適です。MURATA SRC 330は、各種センサやアクチュエータを搭載し、加工ステーションと荷降ろしステーションの間でウェーハを正確に移動させるためのリフト設計を変更しました。シザーリフトは、ブラシレスDCモーターと高精度のバックラッシュフリーギアヘッド装置の組み合わせによって駆動されます。これにより、ウェーハの正確かつ再現性の高い動きが保証され、正確なローディングおよびアンロード操作が可能になります。SRC 330はまた、ウェーハ位置の監視と検証のための2つのカメラを内蔵しています。カメラは、最適な表示のためのカメラの迅速かつ正確な位置決めを可能にする2 トラックX -Y変位システムに搭載されています。カメラは5x-30xズームレンズと高解像度CMOSイメージセンサーを備えており、ウェーハ位置の詳細な表示を提供します。MURATA SRC 330には、ウェハハンドラがすべての安全条件を満たすまで動作しないようにするための安全インターロックユニットがあります。安全インターロックは、ウェーハのパターンの予期しない変化など、安全でない状態が検出されたときに緊急停止を引き起こします。さらに、SRC 330は、ユーザーが特定のニーズや生産要件に合わせてマシンを調整できるように、調整可能な設定を多数備えています。MURATA SRC 330は、重要な半導体プロセス用途向けに設計された信頼性の高いウェハハンドラです。精度と再現性、高いレベルの安全性、および調整可能な設定により、SRC 330は、正確で信頼性の高いウェーハハンドリングマシンを必要とするお客様に最適です。