中古 MURATA OV-33 #9263640 を販売中

MURATA OV-33（ムラタ）は、半導体製造装置でウェーハを自動搬送するために設計されたウェーハハンドラです。OV-33は868mm （W） x 952mm （D） x 707mm （H）の次元および40kgの総重量の完全に統合されたウエハハンドラです。モーターとトランスミッションを内蔵し、最大4m/sの速度でウェーハハンドラを動かすことができます。また、真空ウエハローダーを備えたロボットアームを備えており、あらゆる角度でウエハを取り扱うことができ、スムーズで安全かつ安定した転送が可能です。アームはソフトウェアプログラマブルメインコントローラによってモーションコントロールされます。また、トルクドライブとモーターを組み込んで、より正確な垂直移動を可能にします。MURATA OV-33には、カセット間でウェーハを安全に搬送するための二本指の入出力ユニットが装備されており、ピンチごとに最大4本のウェーハを一度に積み降ろすことができます。このダブルフィンガーユニットはまた、導入またはリリースされるすべてのウエハの安全で安定したリフトアップとグリップを保証します。また、破損したウェーハ転送用のオーバーフローユニットを備えており、ウェーハのサイズと厚さを自動的に検出するように設計されています。このウェーハハンドラの全体的な精度は、高度なモータ制御、伝送速度、および高精度のマイクロプロセッサにより、+/-0。1 mmです。システムには、位置決め時にウェーハを完全に回転させるための回転テーブルも含まれています。さらに、OV-33はスマートモーターと組み合わせて使用することができ、ウェーハのスムーズな転送を保証します。ムラタOV-33ウェハハンドラは、半導体製造プロセスにおいて効率的かつ安全なウェハハンドリング環境を提供するよう設計されています。高速動作と高精度を内蔵した安全機能を備えており、各種システムやアプリケーションでの使用に適しています。