中古 MURATA CD200 #9039646 を販売中
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ID: 9039646
Wafer stocker, 8"
Fluoroware box
Storage capacity: 84
I/O Locations:
(2) Input
(2) Output
Left side
Transport ports:
(1) Input, left rear
(1) Output, left rear.
MURATA CD200は、市販されているウェーハハンドリングシステムの1つです。ウェーハチップの生産を合理化するためのさまざまな機能を提供します。CD200の主な機能は、極めて精度の高いプロセスである製造ラインにウェーハをソースから移動させることです。高精度を実現するために、4台の超精密高速ピックアンドプレイスグリッパーロボットを採用し、ウェーハをシャトルCD200します。ロボットの動作領域は調整可能で、ディスクを任意の方向に40mmまで移動させることができます。また、直径50mmのウエハーも取り出せるようになっています。標準CD200 25cm x 25cmプレートやウェーハトレイなど、さまざまなウェーハキャリアに対応できます。この装置は、ポリシリコン、フォトレジスト、SiO2、および窒化銅など、さまざまな種類のウエハ基板にも適応できます。ウエハーの取り扱いに加えて、村田CD200にはその他にも注目すべき機能がいくつかあります。それは83まで標準的な25mm x 25mmのウエハーおよび30 25mm x 25mmのウエハートレイを貯えることができます。そのユーザーフレンドリーなタッチスクリーンは、監視とプログラミングを簡単にします。また、ウエハトラッキングユニットを備えており、ウエハーを生産ラインに正確に配置することができます。CD200は、ウエハ加工において信頼性の高い、村田開発のオペレーティングマシンで動作します。複雑なエンジニアリングにもかかわらず、オペレータは迅速にツールを習得し、生産ライン間で信頼性の高い正確なウェーハ移動を可能にします。安全性を確保するため、EMF受信機と連動したムラタCD200により、ウェーハの事故を防止します。問題が発生した場合、資産は直ちに運用を停止し、ユーザーとオペレータに警告します。CD200は、効率的かつ効率的なウェーハ処理モデルであり、生産速度を向上させ、さまざまな基板にウェーハを正確に適用することができます。
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