中古 MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19 #293664139 を販売中

三菱RV-4FLC-1D1-S19は、高性能ウエハハンドラです。ウェーハ製造ライン内の保管エリアとプロセス間でウェーハを輸送するように設計されています。RV-4FLC-1D1-S19は、モーター、エンコーダー、および高齢者を使用してウェーハを任意の方向に正確に配置して移動する4軸キネマティック機器を備えています。このウェハハンドラは、高速転送と2秒の最小必要なサイクルタイムを提供します。三菱RV-4FLC-1D1-S19のオペレータインターフェースは、操作者のセットアップや診断に使用できる使いやすいタッチパネルディスプレイを備えています。ストレージ情報、運用状況、エラー診断も提供します。ウェハハンドラのセットアップとプログラミングは、PC通信を介して行われます。マシンのロープロファイルは、既存のシステムに簡単に統合することができます。RV-4FLC-1D1-S19は独自のノズル分離システムを備えており、ウェーハとノズルの接触による汚染を最小限に抑えています。このユニットは、転送中のウェーハの迅速な回復を容易にします。また、ウエハサイズに応じてノズルの高さを自動調整する非接触アライメントマシンも搭載しています。この機能は、手動調整にかかる時間を短縮するのに役立ちます。三菱RV-4FLC-1D1-S19には、多くの安全機能もあります。インターロックセンサーは、ドアセンサーのいずれかが改ざんや不正アクセスを検出した場合、機械の移動を防ぎます。緊急スイッチは押されたときすべての動きを停止し、警報用具の警告灯は機能不全を示します。ウエハハンドリング性能に加え、メンテナンス性RV-4FLC-1D1-S19優れた設計となっています。動作中にモーターやセンサーをチェックする自己診断機能を備えています。ユーザーはまた、サービスと修理を提供する包括的なメンテナンスプログラムにアクセスできます。三菱RV-4FLC-1D1-S19は全体として、ウェーハの加工ラインにおいて優れた性能と信頼性を提供します。高速搬送と高度な機能により、ウェーハ搬送用の高効率機械となっています。さらに、コンパクトな設計と安全機能により、あらゆる生産ラインに最適です。