中古 MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19 #293664134 を販売中

MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19は、半導体プロセスの自動化と精密化を目的としたウェハハンドラです。RV-4FLC-1D1-S19は「、ソース」と「宛先」ポイント間でウェーハを転送するための電動ロボットアームアセンブリを装備しています。電動ロボティクスコンポーネントは、手動で介入することなく、正確で自動化されたウェーハ輸送を可能にし、人件費と潜在的な混乱を低減します。このウェーハハンドラは、安全性を損なうことなく、最大32台のロボットやアクセサリのモジュール拡張を可能にする、統合安全システムを搭載しています。独自のワンクリックプログラマブル、自動ロードおよびアンロードにより、生産性が大幅に向上します。MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19は、すべての標準的なプロセスレシピと互換性があり、さまざまな生産ラインでの普遍的な実装が可能です。RV-4FLC-1D1-S19は一連の統合されたプロセス装置およびデジタル制御システムによって動力を与えられます。統合されたソフトウェアプログラムにより、輸送中のウェーハへの熱応力を避けるために温度を監視および調整できます。ロボットアームアセンブリに高精度マニピュレータを組み込み、ウェーハの安全なアンロードと安全な位置決めを可能にします。三菱RV-4FLC-1D1-S19は、空気中の粒子による汚染からウェーハを保護する輸送システムを搭載しています。このシステムには、欠陥を検出するために、レーザーやカメラシステムを含むさまざまな光学センサーが装備されています。超音波センサーはサイクル時間を最小にするためにコンベヤーの速度を最大にします。レシピ選択からウェーハ転送までのプロセスを安全かつ効率的に行い、優れた精度を保証します。RV-4FLC-1D1-S19は、幅広い半導体製造プロセスにおいて高い汎用性と信頼性を提供します。スマートコントロールアルゴリズムにより、プロセス時間が短縮され、すべてのプロセスパラメータの追跡可能なアーカイブが可能になります。MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19には、I/O制御と視覚フィードバックシステムも搭載しており、セットアップと操作が簡単です。全体として、RV-4FLC-1D1-S19は信頼性の高いコンパクトなウェハハンドリングシステムであり、半導体ウェハハンドリングプロセスを簡素化および自動化するように設計されています。