中古 MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 #9205259 を販売中

三菱RH12-SDH8535-S12ウェーハハンドラは、ウェーハハンドラおよび消耗品のRH12ファミリーの一員であり、ウェーハ処理において信頼性の高い高速性能を提供します。12インチ以下のウェーハを高精度かつ低リスクで管理・加工できるように設計された半自動ウェーハ積載機です。RH12-SDH8535-S12は静的ハンドラーであり、効率的なウェーハ処理を可能にする2つの独立したパレットが装備されています。パレットの1つはウェーハのローディングに使用され、もう1つはウェーハのアンロードに使用されます。三菱RH12-SDH8535-S12には、WIC （Wafer Identification Code）の高度な装置があり、正確かつエラーのない処理を保証します。WICシステムは、各ウェーハに埋め込まれたユニークなコードを介してウェーハを識別することができ、パレット内のウェーハの位置を識別するのに役立ちます。RH12-SDH8535-S12は、手動操作モードとコンピュータ化された操作モードも備えています。手動操作モードでは、オペレータは手動でウェーハ処理プロセスの状態を確認し、処理速度とパラメータを制御および調整することができます。コンピュータ化された操作モードでは、マシンはオペレータとコントローラ（パスカル言語）によって同時に管理することができます。コントローラは、イーサネット接続を介して遠隔操作することもできます。三菱RH12-SDH8535-S12には、ウェーハの積み降ろしを簡素化する簡単なアクセスカセットステーションを備えています。また、ウエハキャリパーユニットを搭載しており、ウエハ径を自動測定して正しい取り扱いを実現しています。また、ウェーハRH12-SDH8535-S12処理状況を監視し記録するウェーハトラッキング装置も備えています。このマシンは、ウェーハハンドラに追加機能を提供するために、他のモジュラーユニットと簡単に接続できるモジュラー設計を採用しています。また、イーサネット接続ポートを介してウェーハ回収システム、酸化、蒸着、フォトリソグラフィー、エッチングシステムと相互接続することもできます。最後に、三菱RH12-SDH8535-S12は産業用オペレーティングツール（OS）を搭載し、SEMI E84/E122などの主要なウェハ環境、安全性、セキュリティ要件をサポートしています。独自のソフトウェアにより、監視、診断、レポート機能が容易になり、ウェーハ操作に安全で信頼性の高いプラットフォームを提供します。