中古 MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19 #9411581 を販売中
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三菱CR751-04VD1-0-S19は、半導体デバイス製造におけるウェハハンドリングの包括的な自動化を実現するために設計されたウェハハンドラです。三菱ウエハハンドラの最新モデルであり、生産ラインと製造工程の間、および異なる製造工程の間で、ウエハーの事前整列、ポストアライニング、輸送のプロセスにおいて、精度と信頼性を向上させます。このモデルのウエハハンドラには、革新的なビジョンシステムとカスタマイズ可能な設定が多数装備されています。ダブルステージリフトを備えており、製造工程間のウェーハ輸送が可能です。2kgの3軸ロボットは、正確な動作のための高精度な制御機能と、プロセス間のスムーズなウェーハ遷移機能を備えています。CR751-04VD1-0-S19はまた製造工程の間にウェーハへの損傷を保護し、避けるように設計されている信頼できる露出保持器を特色にします。このリテーナーは、あらゆる露出段階でウェーハを効果的にロックします。これにより、ウェーハの保護されていない前面が光にさらされないことを保証します。また、三菱ウェハハンドラにはコーナー検出機構が搭載されており、高品質な製品歩留まりを実現しています。高度な視覚認識システムにより、ウェーハの角とノッチを正確に識別し、クランプ、アライニング、転送時に識別することができます。さらに、ウェハハンドラのモデルは最大30個のウェハポジションを検出することができ、さまざまなウェハサイズで使用するために調整することができます。また、衛生機能を搭載し、複数の真空位置の使用をサポートしているため、ウェーハを取り扱う際の高精度と信頼性を提供します。三菱CR751-04VD1-0-S19では、製造・取り扱い中の事故リスクを最小限に抑える安全対策を強化しています。これには、障害物が検出されたときに自動的に閉じる安全シャッターと、ウェーハへの潜在的な損傷を効果的に低減する制御圧力/力が含まれます。全体として、CR751-04VD1-0-S19ウェハハンドラは、半導体デバイス製造用に特別に設計された革新的なソリューションです。高度なビジョンシステム、ダブルステージリフト、3軸ロボット、露出保持器、コーナー検出メカニズム、衛生機能、安全シャッターなど、さまざまな機能を備えており、ウェーハの効率的で正確かつ安全な取り扱いを保証します。
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