中古 MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19 #9411580 を販売中

MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19は、大容量8インチウェハアプリケーション向けに設計された高度な自動ウェハハンドラです。半導体製造ラインと高度な研究開発施設の両方で使用できる完全統合ロボットハンドリング装置です。CR751-04VD1-0-S19は、複雑な機械的リンクやターンテーブルの必要性を排除するユニークな単軸設計を備えています。これにより、システム内で正確で連続的なウェーハの進歩と封じ込めが可能になります。装置は三菱独自のソフトウェアとハードウェアで動作し、処理工程の各段階を正確に制御します。MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19は、各アプリケーションの迅速なセットアップと再構成性を可能にするモジュール設計を備えています。ウェーハの個々の位置を最適化するモーター式のZ軸スピンドルと、ウェーハとフレームの両方の正確なアライメントを確保するための正確な内蔵ビジョンユニットを備えています。また、200mmウェーハサイズをサポートするウェーハマスタースレーブロボットも搭載しています。これにより、ウェハを高効率かつ正確に正確にロードおよびアンロードすることができます。CR751-04VD1-0-S19は、最大24枚のウェーハを並列に転送することもできます。統合された真空ハンドリングマシンは、シリコン、ゲルマニウム、ガリウムヒ素ウェハなど、さまざまな種類の8インチウェハを正確に処理できます。高速転送ツールを搭載しており、最大4本のウェーハを同時に処理しながら間隔を調整することができます。三菱CR751-04VD1-0-S19は、蒸発器、PECVDシステム、LPCVDシステム、スピンコータなど、最も広く使用されている半導体製造ツールと互換性があります。また、連結されたアクセスドアや安全リレーなどの高度な安全機能を備えており、余分な安全性を保証します。さらに、堅牢なリアルタイムデータ収集とストレージ機能を備えているため、大量のデータを正確に処理できます。最後に、CR751-04VD1-0-S19はさらにコスト効率を最大化するのに役立つ印象的な省電力機能を持っています。