中古 MGI SCS 9061-156 #9170548 を販売中

ID: 9170548
Wafer transfer system.
MGI SCS 9061-156ウエハハンドラは、多種多様な半導体アプリケーションに使用される6軸6ブレードのウエハハンドリング装置です。300mmと200mmより小さいウエハーにも対応可能です。汎用性と信頼性が高く、モジュラー設計により高速かつ効率的なウェーハ処理が可能です。6軸システムは、幅広いアプリケーションとの互換性を確保するために、複数の構成でインストールするための小さなフットプリントを提供します。6ブレードハンドラには、ウェーハ分離を強化し、スループットを向上させ、ウェーハ処理効率を向上させるための3つの水平および3つの垂直ブレードが含まれています。また、柔軟な制御ソフトウェアにより、滑らかなモーションコントロール、自動化されたウェーハハンドリング、チップとウォブリングウェーハの除去など、ウェーハを精密に操作できます。ウエハハンドラにはクローズドループ式モーションコントロールユニットが装備されており、ウエハの正確な動きと位置決めに役立ちます。また、LAN (Local Area Network)に対応し、さまざまな監視システムをサポートし、コマンドやデータの通信を可能にするように設計されています。これにより、外部システムとの互換性が向上し、ハンドラをさまざまな半導体生産システムに完全に統合することができます。工具保護用のデュアルゾーン、マルチセンサー安全装置を備えています。また、2つの独立したドアスイッチと、ウェーハを安全に取り扱うための真空制御の動的速度制御を備えています。さらに、汚染や破片を最小限に抑えるためのダストフィルターが含まれています。このウエハハンドラの優れた素材と設計は、最高の信頼性を保証します。このウェハハンドラは、動作中の低騒音と振動レベルで、高速かつ正確なウェハハンドリング動作を提供するように設計されています。この装置の高度な設計はまた、高速ウェーハハンドリングサイクルと再現可能な精密移動を提供します。それはさらに低い維持のために設計され、長い耐用年数の信頼できる性能を提供します。また、複数のウエハーを取り扱うことも可能で、従来の設計と下位互換性があります。全体として、SCS 9061-156ウェーハハンドラは、ウェーハハンドリングおよび半導体アプリケーションにとって信頼性が高く、信頼性が高く、堅牢な資産です。フットプリントの小型化と先進的な設計により、幅広いシステムとの互換性が確保され、信頼性の高い結果で効率的なウェーハハンドリング操作を提供します。
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